Tubes de four intérieur à quartz

Les tubes de four intérieurs en quartz Semicorex sont généralement positionnés à l'intérieur des tubes de four extérieurs dans les systèmes de four de traitement et fonctionnent pour isoler l'environnement externe de la zone de traitement des plaquettes, équilibrer la distribution thermique à l'intérieur du four et permettre un guidage du flux de gaz stratifié ainsi qu'un remplacement rapide du gaz de traitement. Conçus pour résoudre les problèmes du processus, tels que le dopage inégal des plaquettes, les écarts de dépôt de couches minces et la mauvaise consistance de l'oxydation causée par un flux de gaz non uniforme, des différences de température excessives et une atmosphère de four désordonnée, les tubes de four intérieurs en quartz Semicorex répondent parfaitement aux exigences strictes du processus de traitement de précision des plaquettes.

Pourquoi choisir Semicorex ?

1. Avantages de fabrication

Les tubes de four intérieurs en quartz Semicorex sont fabriqués avec précision à partir dequartz de niveau semi-conducteurgrâce à une série de traitements, y compris un recuit de détente à haute température, un étirage intégral de précision du tube, un étalonnage précis des dimensions du tube, un meulage uniforme des parois, une passivation et un polissage des extrémités du tube ainsi qu'un nettoyage sans poussière. Nos tubes de four intérieurs en quartz présentent les caractéristiques exceptionnelles suivantes :

• Dimensions précises des composants

• Contrôle strict des tolérances

• Épaisseur de paroi uniforme

• Intégration fluide et transparente

• Exempt de bulles, de bavures et de contraintes internes

• Structure de flux de gaz dégagée

• Contamination par particules extrêmement faible

• Option personnalisée flexible

---

2. Points forts des performances des matériaux

Fabriqué à partir de matières premières de très haute pureté, Semicorextubes de four intérieurs en quartzdélivrer plusieurs excellentes performances immobilières détaillées ci-dessous :

• Pureté des matériaux ultra-élevée—— éviter toute contamination indésirable par des impuretés métalliques.

• Résistance supérieure aux hautes températures—— répondant pleinement aux exigences du processus de traitement thermique.

• Stabilité thermique fiable—— adapté aux cycles de chauffage et de refroidissement continus.

• Résistance robuste à la corrosion—— résistant de manière stable à la corrosion chimique, au bombardement de plasma et à l'érosion des gaz de procédé.

---

Principales applications

Les tubes de four intérieurs en quartz Semicorex sont bien adaptés à la production de masse de haute qualité de plaquettes semi-conductrices et sont largement utilisés dans les fours à diffusion verticale ou horizontale, les fours d'oxydation à haute température, les fours de recuit sous vide, les fours de dépôt LPCVD et les équipements de traitement thermique tubulaires à semi-conducteurs.

Foire aux questions

1. Quels scénarios de fonctionnement ce produit doit-il éviter ?

Évitez l'immersion prolongée dans les hautes températures HF, la corrosion CPA chaude, les chocs violents, la flexion et la compression.

2. Comment entretenir et nettoyer ce produit ?

Il est strictement interdit de gratter ou de meuler la paroi du tube avec des outils de nettoyage durs ; avant l'installation et la réutilisation, veuillez nettoyer soigneusement avec la solution de haute pureté mélangée à une plaquette ultra pure.

3. Comment puis-je obtenir la solution de fabrication personnalisée ?

Envoyez-nous votre dessin détaillé, vos besoins en matériaux et vos conditions de fonctionnement à l'adresse e-mail sur notre site Web.