Les bras robotiques en carbure de silicium Semicorex, également appelés effecteurs terminaux SiC ou fourche de manipulation de plaquettes SiC, sont des outils de manipulation de plaquettes hautes performances largement utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs haut de gamme. Il s'agit des solutions céramiques idéales, conçues spécifiquement pour la manipulation, le transfert et le positionnement précis des plaquettes dans les environnements exigeants d'automatisation des salles blanches.
Lors de la fabrication avancée de semi-conducteurs, des processus optoélectroniques de précision et de la production automatisée ultra-propre, les bras robotisés fonctionnent en continu avec un mouvement cyclique alternatif à haute vitesse et haute fréquence dans des conditions de travail à haute température. Fonctionnant à long terme dans de telles conditions, les métaux conventionnelsbras robotiquesont tendance à souffrir d'une déformation cumulative, d'une dérive thermique ou d'une migration de contaminants métalliques, entraînant une répétabilité de positionnement dégradée, un fonctionnement instable et des rendements de production inférieurs. S'appuyant sur d'excellentes propriétés matérielles et des techniques de traitement sophistiquées, les bras robotiques en carbure de silicium Semicorex se caractérisent par une stabilité de fonctionnement, une précision de haut niveau, une fiabilité robuste et une propreté ultra élevée. Ils peuvent résoudre ces problèmes et constituer la solution idéale pour une manipulation cohérente des plaquettes, un serrage de précision et un assemblage automatisé.
Semicorex utilise la primeSiCmatières premières pour fabriquer nos bras robotiques en carbure de silicium, ce qui leur permet d'offrir les principales propriétés répertoriées comme suit :
A. Pureté matérielle élevée et contamination par impuretés métalliques extrêmement faible.
B. Corps dense et résistant à l'usure, exempt de particules.
C. Résistance exceptionnelle aux hautes températures
D. Stabilité thermique fiable
E. Stabilité chimique robuste
F. Rigidité spécifique extrême.
G. Excellente isolation électrique.
Semicorexbras robotiques en carbure de siliciumsubir une série de traitements de précision pour satisfaire aux exigences rigoureuses de précision de la fabrication haut de gamme :
A. Conception structurelle optimisée pour réduire le poids total tout en conservant la résistance structurelle.
B. Joints et trous de montage usinés avec précision pour garantir un ajustement parfait avec les systèmes automatisés.
C. Une finition de surface fine réduit la rugosité des bras robotiques pour éviter d'endommager les plaquettes pendant le fonctionnement.
D. Services de personnalisation flexibles, les bras robotiques en carbure de silicium peuvent être adaptés en fonction des dessins des clients.
Avec d'excellentes propriétés matérielles, une précision d'usinage de haute précision et une durée de vie à long terme, les bras robotiques en carbure de silicium Semicorex sont largement utilisés pour la manipulation automatisée de plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs et l'industrie photovoltaïque, tels que les systèmes robotisés de manipulation de plaquettes, les équipements de transfert et d'alignement de plaquettes, les tests de précision et les équipements d'assemblage automatisés. De plus, les bras robotiques en carbure de silicium Semicorex sont bien adaptés aux processus d'emballage de puces et de composants électroniques dans la fabrication électronique ainsi qu'au serrage et au transfert de lentilles dans le domaine de l'optique.