Les creusets en graphite Semicorex en trois parties sont des conteneurs en graphite fendu haute performance spécialement conçus pour les processus de croissance du silicium monocristallin. Idéal pour le traitement thermique des semi-conducteurs haut de gamme, le creuset en graphite en trois parties Semicorex peut supporter de manière fiable le creuset en quartz et ses matériaux internes pour obtenir la croissance contrôlée des structures monocristallines.
Le creuset en graphite est généralement placé sur la plate-forme de support centrale du four à cristal unique et positionné entre le réchauffeur en graphite et le creuset en quartz en monocristal.siliciumprocessus de croissance. Ils peuvent soutenir de manière constante le creuset de quartz et les matériaux de silicium fondu et conduire de manière constante la chaleur vers le creuset de quartz pour chauffer et faire fondre le polysilicium pendant ce processus.
Semicorex utilise le graphite de haute pureté pour fabriquer nos creusets en graphite en trois parties. Cette sélection de matières premières de haute qualité confère aux creusets d'excellentes performances globales répertoriées comme suit.
UN. Ultra-haute propreté
La contamination par des impuretés constitue un risque critique qui altère la structure réticulaire des cristaux de silicium lors de la fabrication. L'utilisation de matériaux en graphite de haute pureté de qualité semi-conductrice peut minimiser les risques de contamination causés par la précipitation d'impuretés provenant de creusets en graphite en trois parties lors de la croissance de silicium monocristallin.
B.Capacité de gestion thermique supérieure
La résistance thermique des creusets en graphite Semicorex en trois parties permet des performances stables à haute température, fournissant un support solide pour la croissance du silicium monocristallin. Grâce à leur conductivité thermique remarquable, les creusets en graphite en trois parties Semicorex peuvent réaliser une fusion efficace et constante du polysilicium.
C. Stabilité chimique fiable
Dotés de propriétés chimiques stables, les creusets en graphite Semicorex en trois parties peuvent résister efficacement à la corrosion pendant la croissance monocristalline et empêcher toute contamination indésirable résultant des sous-produits de réaction. Semicorex propose également des options de revêtement TaC et SiC à nos clients, rendant les creusets adaptés aux conditions de fonctionnement hautement corrosives.
Semicorex trois piècescreusets en graphitesont construits en trois segments et se connectent à des pièces dédiées. Cette conception offre des atouts majeurs par rapport aux creusets en graphite monobloc conventionnels :
UN.La structure divisée à trois pétales des creusets résout les inconvénients de la manipulation des matériaux des creusets en graphite monobloc conventionnels, économisant ainsi considérablement le temps de fonctionnement.
B.Les creusets en graphite en trois parties permettent le remplacement d'une seule pièce, ce qui réduit efficacement les coûts de maintenance et de remplacement pour les utilisateurs.
C.La structure divisée à trois pétales des creusets peut libérer les contraintes thermiques induites par les fluctuations de température pour éviter les dégradations structurelles, réduisant ainsi considérablement les risques de fissuration.