Comment les matériaux avancés résolvent 3 défis critiques dans la conception des fournais semi-conducteurs

La race pour réduire les tailles de transistor et l'échelle de l'efficacité des cellules solaires pousse l'équipement de traitement thermique à ses limites. Chez Semicorex, nous avons passé deux décennies à collaborer avec les principaux fabricants de semi-conducteurs et de PV pour aborder un point de douleur récurrent: lorsque les matériaux standard échouent dans des conditions extrêmes, les lots de production entiers peuvent être compromis.

Coadings CVD: L'armure pour les composants de processus

Les revêtements de dépôt chimique de vapeur (CVD) comme le carbure de silicium (SIC) et le carbure de tantale (TAC) révolutionnent la longévité des composants dans des environnements difficiles:

Revêtement sicAvantages:

Résister aux températures jusqu'à 1 650 ° C dans des atmosphères inertes

Réduit la contamination des particules dans les réacteurs de croissance épitaxiale

Prolonge la durée de vie des suscepteurs de graphite par 3-5x

Revêtement TACDans les barrières de diffusion:

Empêche l'infiltration de silicium en fusion dans les creusets (rétention de pureté à 99,999%)

Minimise Warpage de la plaque pendant le traitement thermique rapide (RTP)

Lorsque les températures dépassent 1600 ° C: l'avantage de revêtement CVD

Ce n'est pas magique - c'est la science des matériaux. Notre processus de CVD propriétaire dépose des revêtements sic et tac avec une précision au niveau atomique, créant des surfaces qui:

Résistez à la corrosion de vapeur de silicium 3x plus longtemps que les revêtements standard

Maintenir <0,5 µm d'épaisseur de variation à travers les géométries complexes

Éliminez la délamination du revêtement même en cyclisme thermique

La crise silencieuse en uniformité thermique

Dans les fours de croissance cristalline, la distribution de température incohérente peut transformer un lingot de silicium de 250 000 $ en morceau. Grâce à des innovations matérielles comme:

Fonction de graphite gradué à la densité (0,18-0,25 g / cm³ conception de gradient)

Insulateurs composites en carbone-carbone avec une anisotropie de dilatation thermique <%

... Nous avons aidé les clients à réaliser:

✔️ ± 1,5 ° C Uniformité de température axiale dans les systèmes de 300 mm Czochralski

✔️ 40% de taux de refroidissement plus rapides sans craquer de lingot

Pourquoi la pureté de quartz compte plus que jamais

Lorsqu'une fonderie MEMS de niveau 1 a tracé les défauts des particules à leurs doublures de chambre de gravure, notre solution de quartz fondu sans bulles:

Contamination réduite des métaux de 89% (analyse ICP-MS)

Intervalles de maintenance préventive étendue de 3 à 8 mois

Réalisé à 99,999% de pureté initiale avec <0,1 ppb alcaliment de contenu en métal

Au-delà des spécifications: l'ingénierie des applications est importante

Bien que les spécifications techniques fournissent des comparaisons de référence, les performances du monde réel dépend de:

• Couplage de processus de matériau - Comment les composants interagissent avec des chimies spécifiques (par exemple, Cl₂ vs Plasmas SF₆)

• Bibliothèques en mode de défaillance - Notre base de données de plus de 1 200 cas de défaillance des composants informe la sélection des matériaux

• Gradage personnalisé - ajustement de la porosité / conductivité du graphite à travers les sections transversales de pièce

Semicorex propose de haute qualitéTantalum enrobé de carbureetEnrobage de carbure de siliciumpièces personnalisées. Si vous avez des demandes ou avez besoin de détails supplémentaires, n'hésitez pas à nous contacter.

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