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Chine Revêtement TaC fabricants, fournisseurs, usine
Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
Le carbure de tantale (TaC) est un composé composé de tantale et de carbone. Il possède une conductivité électrique métallique et un point de fusion exceptionnellement élevé, ce qui en fait un matériau céramique réfractaire connu pour sa solidité, sa dureté et sa résistance à la chaleur et à l'usure. Le point de fusion des carbures de tantale culmine à environ 3 880 °C en fonction de la pureté et possède l'un des points de fusion les plus élevés parmi les composés binaires. Cela en fait une alternative intéressante lorsque les exigences de température plus élevées dépassent les capacités de performance utilisées dans les processus épitaxiaux de semi-conducteurs composés tels que MOCVD et LPE.
Données matérielles du revêtement Semicorex TaC
|
Projets |
Paramètres |
|
Densité |
14,3 (g/cm³) |
|
Émissivité |
0.3 |
|
ETC (×10-6/K) |
6.3 |
|
Dureté (HK) |
2000 |
|
Résistance (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Stabilité thermique |
<2500℃ |
|
Changement de dimension du graphite |
-10 ~ -20um (valeur de référence) |
|
Épaisseur du revêtement |
Valeur typique ≥20um (35um ± 10um) |
|
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|
Les valeurs ci-dessus sont typiques |
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- View as
Céramique poreuse de carbure de tantale
La céramique poreuse au carbure de tantale Semicorex est une céramique poreuse haute performance conçue spécifiquement dans le processus de transport physique de vapeur (PVT). Sa structure poreuse spéciale et ses excellentes propriétés jouent un rôle important en facilitant la croissance des cristaux de carbure de silicium de haute qualité. En choisissant Semicorex, vous obtiendrez des solutions céramiques poreuses idéales avec une qualité constante et des performances stables pour la fabrication avancée de semi-conducteurs.
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Anneaux poreux en carbure de tantale
Les anneaux poreux en carbure de tantale Semicorex sont des composants réfractaires hautes performances spécialement conçus pour le processus de transport physique de vapeur (PVT) de croissance cristalline de carbure de silicium (SiC), dotés d'une structure frittée monolithique qui offre une stabilité thermique exceptionnelle et une perméabilité aux gaz contrôlée.*
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Suscepteurs de plaquettes de graphite à revêtement TaC
Les suscepteurs de tranches de graphite à revêtement Semicorex TaC sont les composants de pointe généralement utilisés pour soutenir et positionner de manière stable les tranches de semi-conducteurs pendant les processus épitaxiaux avancés de semi-conducteurs. Tirant parti de technologies de production de pointe et d'une expérience de fabrication mature, Semicorex s'engage à fournir à nos précieux clients des suscepteurs de tranches de graphite à revêtement TaC conçus sur mesure avec une qualité de pointe sur le marché.
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Suscepteurs à revêtement CVD TaC
Les suscepteurs Semicorex CVD TaC sont des suscepteurs en graphite haute performance avec un revêtement TaC dense, conçus pour offrir une excellente uniformité thermique et une excellente résistance à la corrosion pour les processus exigeants de croissance épitaxiale SiC. Semicorex combine une technologie avancée de revêtement CVD avec un contrôle qualité strict pour fournir des suscepteurs durables et à faible contamination auxquels font confiance les fabricants mondiaux de SiC epi.*
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Anneaux de guidage recouverts de carbure de tantale
Les anneaux de guidage recouverts de carbure de tantale Semicorex sont les composants annulaires hautes performances utilisés dans l'équipement de croissance de cristaux de semi-conducteurs. Ils sont spécialement conçus pour créer un gradient de température approprié et un environnement de flux d’air stable pendant la croissance des cristaux. En choisissant les anneaux de guidage revêtus de carbure de tantale Semicorex, vous bénéficierez d'une technologie de revêtement inégalée et d'une expérience de production hautement efficace et stable.
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Creuset en graphite revêtu de TaC
Le creuset en graphite revêtu de Semicorex TaC est fabriqué à partir de graphite revêtu de carbure de tantale via la méthode CVD, qui est le matériau le plus approprié appliqué dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Semicorex est une entreprise qui se spécialise constamment dans le revêtement céramique CVD et propose les meilleures solutions matérielles de l'industrie des semi-conducteurs.*
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Semicorex produit Revêtement TaC depuis de nombreuses années et est l'un des fabricants et fournisseurs professionnels de Revêtement TaC en Chine. Une fois que vous avez acheté nos produits avancés et durables qui fournissent un emballage en vrac, nous garantissons la grande quantité dans une livraison rapide. Au fil des ans, nous avons fourni à nos clients un service personnalisé. Les clients sont satisfaits de nos produits et de notre excellent service. Nous sommes sincèrement impatients de devenir votre partenaire commercial fiable à long terme ! Bienvenue pour acheter des produits de notre usine.
