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Le graphite de revêtement TaC est créé en revêtant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).



Le carbure de tantale (TaC) est un composé composé de tantale et de carbone. Il a une conductivité électrique métallique et un point de fusion exceptionnellement élevé, ce qui en fait un matériau céramique réfractaire connu pour sa résistance, sa dureté et sa résistance à la chaleur et à l'usure. Le point de fusion des carbures de tantale culmine à environ 3880 ° C en fonction de la pureté et possède l'un des points de fusion les plus élevés parmi les composés binaires. Cela en fait une alternative intéressante lorsque les demandes de température plus élevées dépassent les capacités de performance utilisées dans les processus épitaxiaux de semi-conducteurs composés tels que MOCVD et LPE.


Données matérielles du revêtement Semicorex TaC

Projets

Paramètres

Densité

14,3 (g/cm³)

Emissivité

0.3

ETC (×10-6/K)

6.3

Dureté (HK)

2000

Résistance (Ohm-cm)

1×10-5

Stabilité thermique

<2500â

Changement de dimension du graphite

-10~-20um (valeur de référence)

Épaisseur du revêtement

â¥20um valeur typique(35um±10um)



Les valeurs ci-dessus sont des valeurs typiques




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Graphite poreux avec revêtement TaC

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Le graphite poreux Semicorex avec revêtement TaC est un matériau spécialisé conçu pour relever les défis critiques liés à la croissance des cristaux de carbure de silicium (SiC). Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine*.

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Graphite poreux recouvert de carbure de tantale

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Le graphite poreux recouvert de carbure de tantale Semicorex est la dernière innovation en matière de technologie de croissance cristalline du carbure de silicium (SiC). Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine*.

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Récepteur à revêtement TaC

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Le suscepteur revêtu de Semicorex TaC (suscepteur revêtu de carbure de tantale) est un composant hautement spécialisé utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs et d'autres applications à haute température. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Mandrin de revêtement en carbure de tantale

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Le mandrin de revêtement en carbure de tantale Semicorex est un composant de précision conçu pour être utilisé dans des environnements à haute température et à fortes contraintes. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Anneau de revêtement CVD TaC

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L'anneau de revêtement Semicorex CVD TaC est un composant haute performance conçu pour les applications exigeantes nécessitant une résistance à l'usure, une stabilité thermique et une inertie chimique exceptionnelles. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Pommeau de douche SiC

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La pomme de douche Semicorex SiC est un composant essentiel du processus de croissance épitaxiale, spécialement conçu pour améliorer l'uniformité et l'efficacité du dépôt de couches minces sur des tranches semi-conductrices. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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