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Chine Revêtement TaC fabricants, fournisseurs, usine
Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
Le carbure de tantale (TaC) est un composé composé de tantale et de carbone. Il possède une conductivité électrique métallique et un point de fusion exceptionnellement élevé, ce qui en fait un matériau céramique réfractaire connu pour sa solidité, sa dureté et sa résistance à la chaleur et à l'usure. Le point de fusion des carbures de tantale culmine à environ 3 880 °C en fonction de la pureté et possède l'un des points de fusion les plus élevés parmi les composés binaires. Cela en fait une alternative intéressante lorsque les exigences de température plus élevées dépassent les capacités de performance utilisées dans les processus épitaxiaux de semi-conducteurs composés tels que MOCVD et LPE.
Données matérielles du revêtement Semicorex TaC
|
Projets |
Paramètres |
|
Densité |
14,3 (g/cm³) |
|
Émissivité |
0.3 |
|
ETC (×10-6/K) |
6.3 |
|
Dureté (HK) |
2000 |
|
Résistance (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Stabilité thermique |
<2500℃ |
|
Changement de dimension du graphite |
-10 ~ -20um (valeur de référence) |
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Épaisseur du revêtement |
Valeur typique ≥20um (35um ± 10um) |
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Les valeurs ci-dessus sont typiques |
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- View as
Suscepteur de plaquette de revêtement TaC
Le suscepteur de plaquette de revêtement Semicorex TaC est un plateau en graphite recouvert de carbure de tantale, utilisé dans la croissance épitaxiale du carbure de silicium pour améliorer la qualité et les performances des plaquettes. Choisissez Semicorex pour sa technologie de revêtement avancée et ses solutions durables qui garantissent des résultats d'épitaxie SiC supérieurs et une durée de vie prolongée du suscepteur.*
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Anneaux de guidage de revêtement TaC
Les anneaux de guidage de revêtement TaC sont des anneaux en graphite avec un revêtement en carbure de tantale, conçus pour être utilisés dans les fours de croissance de cristaux de carbure de silicium afin d'améliorer la qualité des cristaux. Choisissez Semicorex pour sa technologie de revêtement avancée, garantissant une durabilité supérieure, une stabilité thermique et des performances de croissance cristalline optimisées.*
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Anneau de guidage en carbure de tantale
L'anneau de guidage en carbure de tantale Semicorex est un anneau en graphite recouvert de carbure de tantale, utilisé dans les fours de croissance de cristaux de carbure de silicium pour le support des germes de cristaux, l'optimisation de la température et une stabilité de croissance améliorée. Choisissez Semicorex pour ses matériaux et sa conception avancés, qui améliorent considérablement l'efficacité et la qualité de la croissance cristalline.*
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Anneau en carbure de tantale
L'anneau en carbure de tantale Semicorex est un anneau en graphite recouvert de carbure de tantale, utilisé comme anneau de guidage dans les fours de croissance de cristaux de carbure de silicium pour assurer un contrôle précis de la température et du débit de gaz. Choisissez Semicorex pour sa technologie de revêtement avancée et ses matériaux de haute qualité, fournissant des composants durables et fiables qui améliorent l'efficacité de la croissance cristalline et la durée de vie du produit.*
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Plateau de plaquettes de revêtement TaC
Le plateau de plaquettes de revêtement Semicorex TaC doit être conçu pour résister aux défis de les conditions extrêmes dans la chambre de réaction, notamment les températures élevées et les environnements chimiquement réactifs.**
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Plaque de revêtement TaC
La plaque de revêtement Semicorex TaC se distingue comme un composant haute performance pour les processus de croissance épitaxiale exigeants et d'autres environnements de fabrication de semi-conducteurs. Grâce à sa série de propriétés supérieures, elle peut à terme améliorer la productivité et la rentabilité des processus avancés de fabrication de semi-conducteurs.**
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Semicorex produit Revêtement TaC depuis de nombreuses années et est l'un des fabricants et fournisseurs professionnels de Revêtement TaC en Chine. Une fois que vous avez acheté nos produits avancés et durables qui fournissent un emballage en vrac, nous garantissons la grande quantité dans une livraison rapide. Au fil des ans, nous avons fourni à nos clients un service personnalisé. Les clients sont satisfaits de nos produits et de notre excellent service. Nous sommes sincèrement impatients de devenir votre partenaire commercial fiable à long terme ! Bienvenue pour acheter des produits de notre usine.
