Les mandrins de plaquette Semicorex fabriqués à partir d'un revêtement en carbure de silicium par MOCVD ont une résistance supérieure au refroidissement et au chauffage rapide, une résistance à l'usure et des propriétés de durée de vie extra longue. C'est le matériau idéal pour maintenir et supporter les plaques des tranches de Si pour divers processus lors de la production de puces dans l'industrie des semi-conducteurs.
● Rigidité
● Faible dilatation thermique
● Faible poids