Chine Composants semi-conducteurs fabricants, fournisseurs, usine

En tant que fabricant professionnel, nous aimerions vous fournir des composants semi-conducteurs. Semicorex est votre partenaire pour l'amélioration du traitement des semi-conducteurs. Nos revêtements en carbure de silicium sont denses, résistants aux températures élevées et aux produits chimiques, et sont souvent utilisés dans tout le cycle de fabrication des semi-conducteurs, y compris le traitement des plaquettes de semi-conducteurs et la fabrication des semi-conducteurs.

Les composants revêtus de SiC de haute pureté sont essentiels aux processus dans le semi-conducteur. Notre offre s'étend des consommables en graphite pour les zones chaudes de croissance des cristaux (réchauffeurs, suscepteurs de creuset, isolation) aux composants en graphite de haute précision pour les équipements de traitement de plaquettes, tels que les suscepteurs en graphite revêtus de carbure de silicium pour l'épitaxie ou le MOCVD.

Avantages pour les procédés semi-conducteurs

Les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, ou les traitements de manipulation de plaquettes tels que la gravure ou l'implantation ionique doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif. Semicorex fournit une construction en graphite revêtu de carbure de silicium (SiC) de haute pureté offrant une résistance thermique supérieure et une résistance chimique durable, une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi.

Couvercles de chambre →
Les couvercles de chambre utilisés dans le traitement de la croissance cristalline et de la manipulation des plaquettes doivent résister à des températures élevées et à un nettoyage chimique agressif.

Effecteur final →
L'effecteur final est la main du robot qui déplace les tranches de semi-conducteurs entre les positions dans l'équipement de traitement des tranches et les supports.

Anneaux d'entrée →
Anneau d'entrée de gaz recouvert de SiC par équipement MOCVD. La croissance du composé présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui présente une grande stabilité dans un environnement extrême.

Bague de mise au point →
Semicorex fournit une bague de mise au point recouverte de carbure de silicium qui est vraiment stable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.

Mandrin à plaquettes →
Les mandrins de plaquettes sous vide en céramique ultra-plats Semicorex sont recouverts de SiC de haute pureté et utilisés dans le processus de manipulation des plaquettes.