En tant que fabricant professionnel, nous aimerions vous fournir des composants semi-conducteurs. Semicorex est votre partenaire pour l'amélioration du traitement des semi-conducteurs. Nos revêtements en carbure de silicium sont denses, résistants aux températures élevées et aux produits chimiques, et sont souvent utilisés dans tout le cycle de fabrication des semi-conducteurs, y compris le traitement des plaquettes de semi-conducteurs et la fabrication des semi-conducteurs.
Les composants revêtus de SiC de haute pureté sont essentiels aux processus dans le semi-conducteur. Notre offre s'étend des consommables en graphite pour les zones chaudes de croissance des cristaux (réchauffeurs, suscepteurs de creuset, isolation) aux composants en graphite de haute précision pour les équipements de traitement de plaquettes, tels que les suscepteurs en graphite revêtus de carbure de silicium pour l'épitaxie ou le MOCVD.
Avantages pour les procédés semi-conducteurs
Les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, ou les traitements de manipulation de plaquettes tels que la gravure ou l'implantation ionique doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif. Semicorex fournit une construction en graphite revêtu de carbure de silicium (SiC) de haute pureté offrant une résistance thermique supérieure et une résistance chimique durable, une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi.
Couvercles de chambre →
Les couvercles de chambre utilisés dans le traitement de la croissance cristalline et de la manipulation des plaquettes doivent résister à des températures élevées et à un nettoyage chimique agressif.
Effecteur final →
L'effecteur final est la main du robot qui déplace les tranches de semi-conducteurs entre les positions dans l'équipement de traitement des tranches et les supports.
Anneaux d'entrée →
Anneau d'entrée de gaz recouvert de SiC par équipement MOCVD. La croissance du composé présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui présente une grande stabilité dans un environnement extrême.
Bague de mise au point →
Semicorex fournit une bague de mise au point recouverte de carbure de silicium qui est vraiment stable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.
Mandrin à plaquettes →
Les mandrins de plaquettes sous vide en céramique ultra-plats Semicorex sont recouverts de SiC de haute pureté et utilisés dans le processus de manipulation des plaquettes.
Les électrodes de silicium monocristallin Semicorex servent à la fois d'électrodes et de passages de gaz de gravure pendant le processus de gravure de la tranche. Les électrodes de silicium monocristallin Semicorex sont des composants de silicium indispensables spécialement conçus pour la fabrication de gravure de semi-conducteurs haut de gamme, ce qui peut contribuer à améliorer la précision et l'uniformité de la gravure.
En savoir plusenvoyer une demandeLes palettes en porte-à-faux Semicorex sont des composants de précision conçus pour les applications de traitement de semi-conducteurs à haute température et de haute pureté. Semicorex fournit des palettes en porte-à-faux de haute qualité pour répondre aux exigences exigeantes des systèmes avancés de manipulation de plaquettes et de gestion thermique.*
En savoir plusenvoyer une demandeLes anneaux de gravure en silicium Semicorex sont des composants de gravure en forme d'anneau de précision fabriqués à partir de silicium monocristallin de haute pureté. Ce sont les pièces essentielles en silicium utilisées dans l’équipement de gravure au plasma, spécialement conçues pour créer des conditions optimales de gravure au plasma. Choisissez Semicorex, choisissez les anneaux de gravure en silicium de haute qualité.
En savoir plusenvoyer une demandeLes tubes de four Semicorex pour LPCVD sont des composants tubulaires fabriqués avec précision avec un revêtement SiC CVD uniforme et dense. Spécialement conçus pour le processus avancé de dépôt chimique en phase vapeur à basse pression, les tubes de four Semicorex pour LPCVD sont capables de fournir des environnements de réaction appropriés à haute température et basse pression pour améliorer la qualité et le rendement du dépôt de couches minces de tranches.
En savoir plusenvoyer une demandeLes tubes de four Semicorex CVD à revêtement SiC sont des composants tubulaires haut de gamme spécialement fabriqués pour le traitement des semi-conducteurs à haute température, tel que l'oxydation, la diffusion et le recuit de tranches de semi-conducteurs. Tirant parti de technologies de traitement avancées et d'une expérience de fabrication mature, Semicorex s'engage à fournir à nos précieux clients des tubes de four recouverts de SiC CVD usinés avec précision avec une qualité de pointe sur le marché.
En savoir plusenvoyer une demandeLes tubes de traitement Semicorex SiC sont fabriqués en céramique SiC de haute pureté avec un revêtement CVD SiC, ils conviennent aux fours horizontaux dans les semi-conducteurs. Compte tenu de la qualité des produits et du service après-vente, Semicorex est celui qui souhaite faire des affaires de haute qualité avec nos clients du monde entier.*
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