En tant que fabricant professionnel, nous aimerions vous fournir des composants semi-conducteurs. Semicorex est votre partenaire pour améliorer le traitement des semi-conducteurs. Nos revêtements en carbure de silicium sont denses, résistants aux hautes températures et aux produits chimiques, qui sont souvent utilisés dans l'ensemble du cycle de fabrication des semi-conducteurs, y compris le traitement des tranches et des tranches de semi-conducteurs et la fabrication des semi-conducteurs.
Les composants revêtus de SiC de haute pureté sont cruciaux pour les processus dans le semi-conducteur. Notre offre s'étend des consommables en graphite pour les zones chaudes de croissance des cristaux (réchauffeurs, suscepteurs de creuset, isolation), aux composants en graphite de haute précision pour les équipements de traitement des plaquettes, tels que les suscepteurs en graphite revêtus de carbure de silicium pour l'épitaxie ou le MOCVD.
Avantages pour les procédés semi-conducteurs
Les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, ou le traitement de manipulation de tranches telles que la gravure ou l'implantation ionique doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif. Semicorex fournit une construction en graphite revêtue de carbure de silicium (SiC) de haute pureté offrant une résistance à la chaleur supérieure et une résistance chimique durable, même une uniformité thermique pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi.
Couvercles de chambre â
Les couvercles de chambre utilisés dans la croissance des cristaux et le traitement de la manipulation des tranches doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif.
Effecteur terminal â
L'effecteur terminal est la main du robot qui déplace les tranches de semi-conducteur entre les positions dans l'équipement de traitement des tranches et les supports.
Anneaux d'entrée â
Anneau d'entrée de gaz revêtu de SiC par équipement MOCVD La croissance du composé a une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, qui a une grande stabilité dans un environnement extrême.
Bague de mise au point â
Semicorex fournit une bague de mise au point revêtue de carbure de silicium très stable pour le nettoyage RTA, RTP ou chimique agressif.
Mandrin Wafer â
Les mandrins de plaquettes sous vide en céramique ultra-plats Semicorex sont revêtus de SiC de haute pureté utilisés dans le processus de manipulation des plaquettes.
Le mandrin à vide Semicorex SiC représente le summum de l'ingénierie de précision adapté à l'industrie exigeante des semi-conducteurs. Fabriqué à partir de substrats en graphite et amélioré grâce à des techniques de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de pointe, ce dispositif innovant intègre de manière transparente les propriétés inégalées du revêtement en carbure de silicium (SiC). Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeSemicorex SiC Wafer Chuck constitue le summum de l'innovation dans la fabrication de semi-conducteurs, servant de composant crucial dans le processus complexe de fabrication des semi-conducteurs. Fabriqué avec une précision méticuleuse et une technologie de pointe, ce mandrin joue un rôle indispensable dans le support et la stabilisation des tranches de carbure de silicium (SiC) au cours des différentes étapes de production. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeLe tube du four à diffusion Semicorex est un composant crucial de l'équipement de fabrication de semi-conducteurs, spécialement conçu pour faciliter les réactions précises et contrôlées essentielles aux processus de fabrication de semi-conducteurs. En tant que récipient principal dans la zone de réaction d'un four à semi-conducteur, le tube du four à diffusion joue un rôle central pour garantir l'intégrité et la qualité des dispositifs semi-conducteurs produits. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeLes revêtements de tubes de traitement Semicorex SiC (carbure de silicium) sont des composants cruciaux dans la production de semi-conducteurs dans des environnements qui nécessitent des températures et des niveaux de pureté élevés. Ces revêtements de tubes SiC Process sont spécialement conçus pour supporter des conditions thermiques extrêmes et maintenir des niveaux élevés de pureté afin de garantir que le processus de fabrication des semi-conducteurs n'est pas compromis. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeLa palette en porte-à-faux Semicorex SiC (carbure de silicium) est un composant crucial utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les fours de diffusion ou LPCVD (dépôt chimique en phase vapeur à basse pression) lors de processus tels que la diffusion et le RTP (Rapid Thermal Processing). La palette en porte-à-faux SiC est destinée à transporter les tranches de semi-conducteurs en toute sécurité dans le tube de traitement pendant divers processus à haute température tels que la diffusion et le RTP. Il sert à supporter et à transporter les plaquettes dans le tube de traitement de ces fours. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeLes pièces de rechange Semicorex pour la croissance épitaxiale sont des composants cruciaux utilisés dans les systèmes de croissance épitaxiale, en particulier dans les processus impliquant des installations de tubes de quartz. Ces pièces jouent un rôle essentiel en facilitant le flux de gaz pour entraîner la rotation de la base du plateau et assurer un contrôle précis de la température tout au long du processus de croissance épitaxiale. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
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