Les suscepteurs en barillet sont un composant essentiel utilisé dans divers processus de fabrication de semi-conducteurs, tels que le LPE et le MOCVD. Semicorex applique du carbure de silicium de haute pureté en couches minces sur le graphite en utilisant le processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), ce qui rend le matériau de qualité semi-conducteur doté d'une excellente stabilité thermique, résistance chimique et résistance à l'usure, ce qui le rend idéal pour une utilisation dans des environnements de haute pureté. processus de température.
● Graphite revêtu de SiC de haute pureté
● Résistance supérieure à la chaleur et aux produits chimiques
● Haute uniformité thermique
● Excellente résistance à l'usure