Suscepteur de crêpe, une forme ronde de support de plaquette utilisée dans le traitement des semi-conducteurs.
L'épitaxie est une étape cruciale dans le traitement des semi-conducteurs qui consiste à faire croître la couche épitaxiale sur des tranches de semi-conducteurs, dans laquelle les tranches sont portées sur les suscepteurs en graphite. Les qualités des suscepteurs du graphite sont des affections clés pour la qualité des épi-wafers.
Suscepteurs en graphite avec revêtement en carbure de silicium
Semicorex fournit des suscepteurs et des composants pour tous les réacteurs d'épitaxie, y comprissuscepteurs de barilet les suscepteurs de crêpes. Nous utilisons du graphite de haute pureté et un revêtement CVD SiC.