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Brève introduction du recuit thermique rapide

Le recuit thermique rapide (en abrégé RTA ou RTP) est une technologie de traitement thermique rapide dans la fabrication de semi-conducteurs. Son principe de base est de chauffer rapidement la surface de la tranche à l'aide d'une source de chaleur radiante de haute intensité (telle que des lampes ha......

Pourquoi appliquer un revêtement CVD SiC sur les suscepteurs en graphite ?

L’industrie des semi-conducteurs de troisième génération connaît une expansion rapide de ses capacités. Les procédés d'épitaxie au carbure de silicium (SiC) et au nitrure de gallium (GaN) continuent d'évoluer vers des environnements d'exploitation à haute température, des matières premières d'ultra ......

Bateau à plaquettes en carbure de silicium

Dans la fabrication de semi-conducteurs, l'oxydation consiste à placer la tranche dans un environnement à haute température où l'oxygène circule à travers la surface de la tranche pour former une couche d'oxyde. Cela protège la tranche des impuretés chimiques, empêche le courant de fuite de pénétrer......

Pourquoi les suscepteurs de plaquettes de graphite à revêtement TaC deviennent-ils essentiels pour la fabrication avancée de semi-conducteurs

Semicorex fournit des suscepteurs avancés de plaquettes en graphite à revêtement TaC, conçus pour les processus de semi-conducteurs exigeants qui nécessitent une excellente stabilité thermique, une résistance chimique et des performances précises de support de plaquettes. Alors que les fabricants de......

Comparaison de trois bagues de mise au point grand public

Les bagues de focalisation sont des pièces annulaires de précision généralement installées autour du mandrin de tranche d'un équipement de gravure au plasma et sont directement exposées au plasma à haute énergie pendant le processus de gravure. Leur fonction principale est d'agir comme des pièces sa......

Composants Semicorex SiC dans un four à haute température

SiC ceramic is the high-temperature resistant material, which is durable in the semiconductor process. En attendant, le matériau peut être d’une grande pureté pour atteindre le niveau semi-conducteur. Semicorex propose divers produits céramiques SiC personnalisés, dotés de la technologie d'impre......

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