La plaque centrale en graphite Semicorex ou suscepteur MOCVD est du carbure de silicium de haute pureté recouvert par la méthode de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), utilisant dans le processus la croissance de la couche épitaxiale sur la puce de la tranche. Le suscepteur revêtu de SiC est un élément essentiel du MOCVD, il exige donc une résistance thermique et chimique supérieure, ainsi qu'une uniformité thermique élevée. Nous avons conçu spécifiquement pour ces applications exigeantes d’équipement d’épitaxie.
Les suscepteurs de tranches de graphite Semicorex 1x2" sont des composants de transport hautes performances spécialement conçus pour les tranches de 2 pouces, qui sont bien adaptés au processus épitaxial des tranches semi-conductrices. Choisissez Semicorex pour la pureté des matériaux de pointe, l'ingénierie de précision et la fiabilité inégalée dans les environnements de croissance épitaxiale exigeants.
En savoir plusenvoyer une demandeLes suscepteurs MOCVD en graphite recouvert de SiC sont les composants essentiels utilisés dans les équipements de dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD), qui sont responsables du maintien et du chauffage des substrats de tranches. Grâce à leur gestion thermique, leur résistance chimique et leur stabilité dimensionnelle supérieures, les suscepteurs MOCVD en graphite recouvert de SiC sont considérés comme l'option optimale pour l'épitaxie de substrats de tranches de haute qualité.
En savoir plusenvoyer une demandeLes porte-plaquettes semicorex 6 "sont des transporteurs à haute performance conçus pour les exigences rigoureuses de la croissance épitaxiale du SIC. Choisissez Semicorex pour la pureté des matériaux inégalés, l'ingénierie de précision et la fiabilité prouvée dans les processus SIC à haute température à haute température. *.
En savoir plusenvoyer une demandeSemicorex MOCVD Waferholder est un composant indispensable pour la croissance par épitaxie SiC, offrant une gestion thermique, une résistance chimique et une stabilité dimensionnelle supérieures. En choisissant le porte-plaquettes de Semicorex, vous améliorez les performances de vos processus MOCVD, conduisant à des produits de meilleure qualité et à une plus grande efficacité dans vos opérations de fabrication de semi-conducteurs. *
En savoir plusenvoyer une demandeLe suscepteur Semicorex MOCVD 3x2'' développé par Semicorex représente le summum de l'innovation et de l'excellence en ingénierie, spécialement conçu pour répondre aux exigences complexes des processus de fabrication de semi-conducteurs contemporains.**
En savoir plusenvoyer une demandeL'anneau de revêtement Semicorex SiC est un composant essentiel dans l'environnement exigeant des processus d'épitaxie de semi-conducteurs. Grâce à notre engagement constant à fournir des produits de qualité supérieure à des prix compétitifs, nous sommes prêts à devenir votre partenaire à long terme en Chine.*
En savoir plusenvoyer une demande