Le support Semicorex RTP est revêtu de carbure de silicium à l'aide du procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), qui est vraiment stable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif. Au cœur du processus semi-conducteur, les suscepteurs d'épitaxie sont d'abord soumis à l'environnement de dépôt, de sorte qu'ils présentent une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion. Le support revêtu de SiC a également une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur.
â Graphite recouvert de SiC de haute pureté
â Résistance supérieure à la chaleur et aux produits chimiques
â Haute uniformité thermique
â Excellente résistance à l'usure
La plaque de support en graphite RTP de Semicorex est la solution parfaite pour les applications de traitement de tranches de semi-conducteurs, y compris la croissance épitaxiale et le traitement de manipulation de tranches. Notre produit est conçu pour offrir une résistance à la chaleur et une uniformité thermique supérieures, garantissant que les suscepteurs d'épitaxie sont soumis à l'environnement de dépôt, avec une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion.
En savoir plusenvoyer une demandeLe support de revêtement Semicorex RTP SiC offre une résistance à la chaleur et une uniformité thermique supérieures, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de tranches de semi-conducteurs. Avec son graphite revêtu de SiC de haute qualité, ce produit est conçu pour résister aux environnements de dépôt les plus difficiles pour la croissance épitaxiale. La conductivité thermique élevée et les excellentes propriétés de distribution de la chaleur garantissent des performances fiables pour le nettoyage RTA, RTP ou chimique agressif.
En savoir plusenvoyer une demandeSemicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier est conçu pour résister aux conditions les plus difficiles de l'environnement de dépôt. Grâce à sa haute résistance à la chaleur et à la corrosion, ce produit est conçu pour fournir des performances optimales pour la croissance épitaxiale. Le support revêtu de SiC a une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur, garantissant des performances fiables pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.
En savoir plusenvoyer une demandeLa plaque de support Semicorex SiC Graphite RTP pour MOCVD offre une résistance à la chaleur et une uniformité thermique supérieures, ce qui en fait la solution parfaite pour les applications de traitement de tranches de semi-conducteurs. Avec un graphite revêtu de SiC de haute qualité, ce produit est conçu pour résister aux environnements de dépôt les plus difficiles pour la croissance épitaxiale. La conductivité thermique élevée et les excellentes propriétés de distribution de la chaleur garantissent des performances fiables pour le nettoyage RTA, RTP ou chimique agressif.
En savoir plusenvoyer une demandeLa plaque de support RTP revêtue de SiC Semicorex pour la croissance épitaxiale est la solution parfaite pour les applications de traitement de tranches de semi-conducteurs. Avec ses suscepteurs en graphite de carbone de haute qualité et ses creusets en quartz traités par MOCVD à la surface du graphite, de la céramique, etc., ce produit est idéal pour la manipulation de plaquettes et le traitement de croissance épitaxiale. Le support revêtu de SiC assure une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur, ce qui en fait un choix fiable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.
En savoir plusenvoyer une demandeSemicorex est un fabricant et fournisseur à grande échelle de suscepteur en graphite revêtu de carbure de silicium en Chine. Suscepteur en graphite Semicorex spécialement conçu pour les équipements d'épitaxie à haute résistance à la chaleur et à la corrosion en Chine. Notre RTP RTA SiC Coated Carrier a un bon avantage de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme.
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