L'effecteur final est la main du robot qui déplace les tranches de semi-conducteurs entre les positions dans l'équipement de traitement des tranches et les supports. L'effecteur final doit être dimensionnellement précis et thermiquement stable, tout en ayant une surface lisse et résistante à l'abrasion pour manipuler les tranches en toute sécurité sans endommager les dispositifs ni produire de contamination particulaire.
Les composants de revêtement en carbure de silicium (SiC) de haute pureté Semicorex offrent une résistance thermique supérieure, une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi, ainsi qu'une résistance chimique durable.