L'effecteur final est la main du robot qui déplace les tranches de semi-conducteurs entre les positions dans l'équipement de traitement des tranches et les supports. L'effecteur final doit être dimensionnellement précis et thermiquement stable, tout en ayant une surface lisse et résistante à l'abrasion pour manipuler les tranches en toute sécurité sans endommager les dispositifs ni produire de contamination particulaire.
Les composants de revêtement en carbure de silicium (SiC) de haute pureté Semicorex offrent une résistance thermique supérieure, une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi, ainsi qu'une résistance chimique durable.
Le bras en céramique en alumine semicoréx est un composant robotique de haute pureté conçu pour une manipulation précise et sans contamination dans la fabrication de semi-conducteurs. Le choix de Semicorex garantit non seulement une qualité de matériau en céramique d'alumine avancée, mais aussi un savoir-faire de précision qui garantit la durabilité, la propreté et la fiabilité dans les environnements de processus critiques. *
En savoir plusenvoyer une demandeLe bras SIC semicorex est un composant en carbure de silicium de haute pureté conçu pour une manipulation et un positionnement précis dans la fabrication de semi-conducteurs. Le choix de Semicorex assure la fiabilité des matériaux inégalés, la résistance chimique et l'ingénierie de précision qui soutiennent les processus semi-conducteurs les plus exigeants. *
En savoir plusenvoyer une demandeLes doigts semi-orecorex sont des composants conçus de précision à partir de carbure de silicium de haute pureté, conçu pour répondre sous les exigences extrêmes de la fabrication de semi-conducteurs. Le choix de SemiCorex signifie l'accès à une expertise de matériel avancé, un traitement de haute précision et des solutions fiables fiables dans les applications critiques de manutention de la plaquette. *
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