Les couvercles de chambre sont utilisés pour créer un environnement propre, inerte et protégé dans les chambres de dépôt, de sorte qu'ils sont exposés au plasma et à des températures élevées pendant les processus de dépôt ou de gravure. Les couvercles de chambre Semicorex sont des composants en céramique durables recouverts de carbure de silicium selon la méthode de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), parfaits pour résister à ces environnements difficiles.