Chine Pagaie en porte-à-faux fabricants, fournisseurs, usine

Pendant le traitement, les plaquettes semi-conductrices doivent être chauffées dans des fours spécialisés. Le réacteur comprend des tubes cylindriques allongés dans lesquels les tranches sont positionnées sur les bateaux à tranches à des distances prédéterminées et équidistantes. Afin de survivre aux conditions de traitement à l'intérieur de la chambre et de minimiser les déchets des tranches provenant de l'équipement de traitement, des bateaux de tranches et de nombreux d'autres dispositifs utilisés dans le traitement des plaquettes sont fabriqués à partir d'un matériau tel que le carbure de silicium (SiC).

Les bateaux, chargés d'un lot de plaquettes à traiter, sont positionnés sur de longues palettes en porte-à-faux, grâce auxquelles ils peuvent être insérés et retirés des fours tubulaires et des réacteurs. Les pagaies comprennent une section de support aplatie sur laquelle un ou plusieurs bateaux peuvent être positionnés, et une longue poignée, positionnée à une extrémité de la section de support aplatie, par laquelle la pagaie peut être manipulée.

Il est recommandé d'utiliser une palette en porte-à-faux en carbure de silicium recristallisé avec une fine couche CVD SiC, qui est de haute pureté et le meilleur choix pour les composants dans le traitement des semi-conducteurs.

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