Chine Pagaie en porte-à-faux fabricants, fournisseurs, usine

Pendant le traitement, les tranches de semi-conducteur doivent être chauffées dans des fours spécialisés. Le réacteur comprend des tubes cylindriques allongés, dans lesquels les tranches sont positionnées sur les nacelles à équidistance prédéterminées. Afin de survivre aux conditions de traitement dans la chambre et de minimiser les déchets des tranches provenant de l'équipement de traitement, les nacelles et de nombreux d'autres dispositifs utilisés dans le traitement des tranches sont fabriqués à partir d'un matériau tel que le carbure de silicium (SiC).

Les nacelles, chargées d'un lot de plaquettes à traiter, sont positionnées sur de longues palettes en porte-à-faux, par lesquelles elles peuvent être introduites et retirées des fours tubulaires et des réacteurs. Les pagaies comprennent une section de support aplatie sur laquelle un ou plusieurs bateaux peuvent être positionnés, et une longue poignée, positionnée à une extrémité de la section de support aplatie, par laquelle la pagaie peut être manipulée.

Il est recommandé d'utiliser une palette en porte-à-faux en carbure de silicium recristallisé avec une couche mince de SiC CVD, qui est de haute pureté et le meilleur choix pour les composants dans le traitement des semi-conducteurs.

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