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Une pomme de douche en SiC (carbure de silicium) est un composant spécialisé utilisé dans divers processus industriels, notamment dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour distribuer et délivrer les gaz de traitement de manière uniforme et précise pendant les processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de croissance épitaxiale.

La pomme de douche a la forme d’un disque ou d’une plaque avec plusieurs trous ou buses uniformément répartis sur sa surface. Ces trous servent de sorties aux gaz de procédé, leur permettant d'être injectés dans la chambre de procédé ou la chambre de réaction. La taille, la forme et la répartition des trous peuvent varier en fonction de l'application spécifique et des exigences du processus.

L’un des principaux avantages de l’utilisation d’une pomme de douche SiC est son excellente conductivité thermique. Cette propriété permet un transfert de chaleur efficace et une répartition uniforme de la température sur la surface de la pomme de douche, évitant ainsi les points chauds et garantissant des conditions de processus constantes. La conductivité thermique améliorée permet également un refroidissement rapide de la pomme de douche après le processus, minimisant ainsi les temps d'arrêt et augmentant la productivité globale.

Les pommes de douche SiC sont très durables et résistantes à l’usure, même en cas d’exposition prolongée à des gaz corrosifs et à des températures élevées. Cette longévité se traduit par des intervalles de maintenance prolongés et une réduction des temps d'arrêt des équipements, ce qui se traduit par des économies de coûts et une fiabilité améliorée des processus.

En plus de leur robustesse, les pommes de douche SiC offrent d'excellentes capacités de distribution de gaz. Les configurations et configurations de trous conçues avec précision garantissent un flux et une distribution uniformes du gaz sur la surface du substrat, favorisant ainsi un dépôt de film cohérent et des performances améliorées de l'appareil. La distribution uniforme du gaz contribue également à minimiser les variations d'épaisseur du film, de composition et d'autres paramètres critiques, contribuant ainsi à améliorer le contrôle et le rendement du processus.

Semicorex propose une pomme de douche à semi-conducteur en carbure de silicium fritté à faible résistivité.  Nous avons la capacité de concevoir et de fournir des matériaux céramiques avancés sur mesure en utilisant une variété de capacités uniques.