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Nouvelles de l'industrie

Brève introduction du recuit thermique rapide

Le recuit thermique rapide (en abrégé RTA ou RTP) est une technologie de traitement thermique rapide dans la fabrication de semi-conducteurs. Son principe de base est de chauffer rapidement la surface de la tranche à l'aide d'une source de chaleur radiante de haute intensité (telle que des lampes ha......

Pourquoi appliquer un revêtement CVD SiC sur les suscepteurs en graphite ?

L’industrie des semi-conducteurs de troisième génération connaît une expansion rapide de ses capacités. Les procédés d'épitaxie au carbure de silicium (SiC) et au nitrure de gallium (GaN) continuent d'évoluer vers des environnements d'exploitation à haute température, des matières premières d'ultra ......

Bateau à plaquettes en carbure de silicium

Dans la fabrication de semi-conducteurs, l'oxydation consiste à placer la tranche dans un environnement à haute température où l'oxygène circule à travers la surface de la tranche pour former une couche d'oxyde. Cela protège la tranche des impuretés chimiques, empêche le courant de fuite de pénétrer......

Pourquoi les suscepteurs de plaquettes de graphite à revêtement TaC deviennent-ils essentiels pour la fabrication avancée de semi-conducteurs

Semicorex fournit des suscepteurs avancés de plaquettes en graphite à revêtement TaC, conçus pour les processus de semi-conducteurs exigeants qui nécessitent une excellente stabilité thermique, une résistance chimique et des performances précises de support de plaquettes. Alors que les fabricants de......

Comparaison de trois bagues de mise au point grand public

Les bagues de focalisation sont des pièces annulaires de précision généralement installées autour du mandrin de tranche d'un équipement de gravure au plasma et sont directement exposées au plasma à haute énergie pendant le processus de gravure. Leur fonction principale est d'agir comme des pièces sa......

Différences entre les mandrins à vide et les mandrins électrostatiques

En tant que maillons essentiels indispensables dans la fabrication de semi-conducteurs, la stabilité et la précision de la technologie de maintien des plaquettes ont un impact direct sur l’efficacité de la production des puces et la qualité du dispositif fini. Les mandrins à vide et les mandrins éle......

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