Traitement de surface pour mandrin électrostatique haut de gamme

Lemandrin électrostatiqueassume de multiples fonctions telles que la décharge électrostatique uniforme, la conduction thermique, l'adsorption et la fixation de plaquettes dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs. L'une des fonctions principales de l'ESC est d'adsorber de manière stable les plaquettes dans des conditions de fonctionnement extrêmes telles qu'un vide poussé, un plasma puissant et une large plage de températures.

Ce qui détermine véritablement leurs performances, ce n'est pas la structure externe ou la formule du matériau de base, mais le processus de traitement de surface. Sans traitement de surface professionnel, les problèmes suivants seront rencontrés pendant le fonctionnement :

1. Érosion plasmatique et contamination par ions métalliques

Les surfaces céramiques non protégées sont vulnérables à l'érosion plasma lors des processus de gravure ou de CVD. Ce type d'érosion peut directement entraîner la libération d'ions métalliques ou la perte de particules céramiques, contaminant ainsi la tranche.

2. Conductivité thermique inégale et déformation par gauchissement

Les surfaces rugueuses ou un mauvais traitement entraînent un contact inégal entre la plaquette et leÉCHAP, entravant la conduction thermique et affectant l'uniformité du CD.

3. Adsorption électrostatique instable

Un contrôle inexact des performances d'isolation de surface ou de la conductivité du mandrin électrostatique peut facilement conduire à une force d'adsorption insuffisante ou à une adsorption excessive, affectant finalement directement le rendement du traitement des plaquettes.

La surface des ESC haut de gamme adopte souvent une conception de structure composite multicouche, régulant avec précision les zones fonctionnelles grâce à des revêtements pour obtenir une véritable intégration haute performance.

Les technologies courantes de traitement de surface des ESC haut de gamme :

1. Revêtements non adhésifs en fluoropolymère (tels que PTFE et PFA)

Ce type de revêtement est particulièrement approprié pour les environnements de traitement à basse température en raison de sa faible énergie libre de surface, qui empêche efficacement l'adsorption des résidus de résine photosensible.

2. Revêtements Diamond-Like Carbon (DLC)

Avec une dureté élevée, une résistance au plasma et un faible coefficient de frottement, ils conviennent aux applications anti-érosion et anti-détachement des particules dans les équipements de gravure.

3. Films céramiques conducteurs PVD (tels que CrSiN et TiN)

Ce type de revêtement peut construire un chemin conducteur stable dans une zone spécifique, et ainsi éviter efficacement le problème de l'accumulation de charges locales en contrôlant avec précision la décharge uniforme des charges de surface.

Les surfaces rugueuses ou un mauvais traitement entraînent un contact inégal entre la plaquette et le

Ce type de revêtement combine des qualités non adhésives avec une conductivité thermique, et ses performances globales peuvent correspondre précisément aux exigences d'application du contrôle thermique ESC de haute précision.