Quelle est l'encoche sur les plaquettes ?

L'encoche de la plaquette est une rainure en forme de V ou en forme de U située sur le bord d'unplaquette semi-conductrice. Loin d'être un défaut survenu lors du processus de fabrication, il s'agit du marqueur structurel critique qui a été intentionnellement conçu, dont la fonction principale consiste à permettre une identification précise du positionnement et de l'orientation de la plaquette. La plaquette plate a été utilisée comme marquage d'orientation dans les premiers stades du développement de la technologie des plaquettes. Cependant, à mesure que la taille des plaquettes augmentait progressivement, la conception à bord plat occupait une surface plus efficace, étant ainsi progressivement remplacée par une encoche plus compacte.

Quelle est la fonction de l'encoche sur la plaquette ? 

La fabrication de puces est un processus à l’échelle nanométrique dans lequel toute déviation directionnelle peut entraîner une défaillance du circuit. Servant de marquage d'orientation, l'encoche sur la tranche permet aux machines de lithographie et de gravure d'identifier rapidement l'orientation des cristaux de la tranche, garantissant ainsi un alignement précis de chaque étape du processus. Chaque puce est positionnée sur le wafer selon une encoche, semblable au méridien d'origine. Cette conception ingénieuse permet de lithographier et de disposer des modèles de circuits avec l'encoche comme donnée de référence. De plus, les bras robotiques s'appuient sur l'encoche de la tranche pour distinguer le côté avant/arrière et l'orientation de la tranche dans une ligne de production hautement automatisée, ce qui évite considérablement les dommages à la tranche ou les erreurs de processus causées par une mauvaise opération. Si l'encoche est contaminée ou endommagée, la plaquette entière peut être rejetée comme non conforme.

L’encoche de la tranche joue également un rôle crucial dans l’amélioration du rendement de fabrication des puces. Étant donné que les bords des plaquettes sont sujets à des défauts tels que des lignes de glissement et des fissures lors de la fabrication, un positionnement précis via des encoches permet à l'équipement d'éviter avec précision ces zones défectueuses, réduisant ainsi les déchets. Les lignes de production modernes adoptent également des technologies telles que la rotation de la suspension pneumatique pour les opérations de recherche de bords. Servant de marqueur pour la détection sans contact, l’encoche de la plaquette évite non seulement la contamination causée par le contact mécanique, mais améliore également l’efficacité et la précision de l’identification.

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