Quelle est la fonction des bagues de mise au point ?

Les bagues de focalisation sont les composants essentiels pour garantir l’uniformité et la stabilité des processus de gravure des semi-conducteurs. Grâce à un contrôle précis des champs électriques et thermiques, les bagues de focalisation peuvent concentrer le plasma sur la surface de la tranche, garantissant ainsi des résultats de gravure cohérents à tous les emplacements de la tranche.

Les fonctions des bagues de mise au point

1. Améliorer l'uniformité de la gravure

Lors du processus de gravure, les bagues de focalisation peuvent concentrer le plasma sur letranchesurface, qui garantit efficacement une densité de plasma, un angle de bombardement ionique et des niveaux d'énergie uniformes à la fois sur le bord de la plaquette et dans les régions centrales. Ils corrigent la répartition du champ électrique au bord de la tranche, réduisant ainsi le taux de gravure, les dimensions critiques et les variations de morphologie provoquées par les effets de bord, garantissant ainsi la cohérence de la gravure sur toute la surface de la tranche. Si la bague de focalisation est excessivement usée ou s'il n'y a pas de bague focale, le plasma se diffusera à partir du bord de la plaquette, provoquant finalement des écarts non conformes dans la largeur de ligne entre les régions du bord et du centre.

2. Protéger le mandrin électrostatique

Les bagues de focalisation sont généralement installées à l’extérieur de la surface porte-plaquette des mandrins électrostatiques, directement exposées au bombardement plasma et à la corrosion. Cette configuration d'installation sert de barrière physique pour empêcher le plasma d'entrer en contact avec les mandrins électrostatiques pendant le processus de gravure, réduisant ainsi considérablement le risque de dommages au plasma. Les bagues de focalisation peuvent également empêcher les sous-produits générés pendant le processus de gravure d'adhérer aux mandrins électrostatiques, évitant ainsi la dégradation des performances causée par la contamination et le colmatage du mandrin. Cela prolonge considérablement le cycle de maintenance et la durée de vie des mandrins électrostatiques, réduisant ainsi les coûts de maintenance et de remplacement des équipements.

Les bagues de mise au point sont généralement fabriquées à partir de matériaux de haute puretéquartz, siliciumetcarbure de siliciummatériels. Grâce à leurs excellentes performances globales, les matériaux en carbure de silicium deviennent progressivement l’option dominante pour les processus de gravure de pointe. En tant que fournisseur de confiance de bagues de mise au point de semi-conducteurs en Chine, Semicorex propose desbagues de mise au point en carbure de siliciumde différentes tailles pour répondre aux différentes exigences des équipements de gravure. Semicorex accueille vos demandes et achats à tout moment.