Mandrin à vide en alumine poreuse

Le mandrin à vide est connecté à l'équipement à vide via un tube de connexion. Lorsque le mandrin à vide entre en contact avec la pièce à usiner, telle qu'une plaquette/un film mince, l'équipement à vide commence à fonctionner, créant une pression négative à l'intérieur du mandrin à vide. Sous pression atmosphérique, la pièce adhère fermement au mandrin à vide, permettant ainsi le traitement. Une fois le traitement terminé, l'équipement de vide cesse de fonctionner et remplit lentement le mandrin à vide de gaz, séparant automatiquement la pièce du mandrin. Ceci termine le serrage, le traitement et la manipulation de la pièce.

L'objectif principal de la photolithographie des semi-conducteurs est d'« imprimer » des milliards de motifs de circuits de transistors sur une tranche avec une précision de l'ordre du nanomètre. L'essence de la « photolithographie » consiste à utiliser une source de lumière pour irradier une résine photosensible hautement photosensible, provoquant une réaction chimique qui grave le circuit. Cependant, lorsque la source de lumière irradie la tranche, elle éclaire inévitablement également le mandrin électrostatique, qui sert de support à la tranche. La lumière secondaire réfléchie qui en résulte peut interférer avec le processus de photolithographie, provoquant une exposition dans des zones inattendues et endommageant les circuits. Par conséquent, une surface noire pour le mandrin à vide minimise la réflexion, garantissant ainsi les exigences de précision du système de photolithographie. Grâce à cette capacité, l'alumine noire peut être largement utilisée non seulement dans les mandrins électrostatiques, mais également dans des scénarios de « suppression de la lumière ». L'avènement de l'ère de l'IA a permis un développement significatif dans les applications de communication optique, et les substrats en alumine noire sont fréquemment utilisés dans l'emballage de dispositifs optoélectroniques et d'éléments électroluminescents.

Céramique d'alumine noireest composé principalement d'Al2O3, avec des oxydes de métaux de transition comme colorants et auxiliaires de frittage ajoutés, fritté à une température spécifique. Le colorant est un élément crucial de ce type de céramique, déterminant sa couleur finale. Lors de la sélection des colorants pour les mandrins à vide, il est essentiel de garantir le degré de couleur, la résistance mécanique, la porosité et la taille des pores du mandrin à vide.

Actuellement, les oxydes de métaux de transition couramment utilisés comme colorants au niveau national et international comprennent Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 et MnO2, Fe2O3, CoO, NiO et MnO2 étant les plus répandus. Étant donné que l’alumine est moins volatile à haute température, alors que les oxydes de métaux de transition sont à l’opposé, leur volatilité augmente avec la température. Ces oxydes forment des composés de type spinelle lors du frittage à haute température, ce qui réduit leur volatilité. Par conséquent, pour supprimer la volatilisation des oxydes de métaux de transition, des conditions de traitement appropriées doivent être sélectionnées pour leur permettre de se combiner en composés de type spinelle à des températures plus basses.

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