Une brève introduction aux plaquettes factices

La fabrication avancée de semi-conducteurs comprend plusieurs étapes de processus, notamment le dépôt de couches minces, la photolithographie, la gravure, l'implantation ionique et le polissage chimico-mécanique. Au cours de ce processus, même de minuscules défauts peuvent avoir un effet néfaste sur les performances et la fiabilité des puces semi-conductrices finales. Par conséquent, maintenir la stabilité et la cohérence des processus, ainsi que mener une surveillance efficace des équipements, constitue un défi de taille. Les plaquettes factices sont des outils cruciaux qui aident à relever ces défis.

Les plaquettes factices sont des plaquettes qui ne comportent pas de véritables circuits et ne sont pas utilisées dans le processus de production final de la puce. CesplaquettesIl peut s'agir de plaquettes de test neuves de qualité inférieure ou de plaquettes récupérées. Différentes des plaquettes de produits coûteux utilisées pour fabriquer des circuits intégrés, elles sont généralement utilisées pour divers éléments non liés à la production qui sont essentiels à la production de semi-conducteurs.

Applications des plaquettes factices

1.Qualification et réglage des processus

Les tranches factices sont couramment utilisées pour les tests avant ces situations afin de garantir la stabilité du processus et la conformité des performances de l'équipement, par exemple avant la mise en service d'un nouvel équipement de processus, après la maintenance ou le remplacement de composants d'un équipement existant et pendant le développement de nouvelles recettes de processus. La vérification des performances de l'équipement et l'ajustement précis des paramètres du processus peuvent être réalisés avec succès grâce à l'analyse des résultats du traitement sur les tranches factices, ce qui réduit efficacement la perte de tranches de produits et réduit les coûts de production pour les entreprises.

2. Conditionnement et échauffement de l'équipement

L'environnement de la chambre de nombreux équipements de traitement des semi-conducteurs (par exemple, les équipements de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), les équipements de dépôt physique en phase vapeur (PVD) et les machines de gravure) a un impact significatif sur les résultats du traitement. Par exemple, l’état du revêtement et la répartition de la température sur les parois internes de la chambre doivent atteindre un état stable. Des tranches factices sont souvent utilisées pour conditionner les chambres de traitement et stabiliser l'environnement interne (par exemple, température, atmosphère chimique et état de surface) des chambres, ce qui empêche efficacement les écarts de processus ou les défauts dans le premier lot de tranches de produit provoqués par l'équipement ne fonctionnant pas dans son état optimal.

3. Surveillance des particules et contrôle de la contamination

La fabrication de semi-conducteurs a des exigences de propreté extrêmement élevées ; même une contamination par des particules minuscules peut entraîner une défaillance de la puce. En examinant les particules adhérant à la surface des plaquettes factices introduites dans l'équipement, la propreté de l'équipement peut être évaluée. Ainsi, les tranches de produits peuvent être protégées avec succès contre la contamination en identifiant rapidement les sources possibles de contamination et en mettant en place des procédures de nettoyage ou de maintenance.

4. Remplissage des fentes pour l'uniformité des lots

Pour obtenir le débit de gaz, la répartition de la température et la concentration des réactifs dans la chambre de traitement, le fonctionnement à pleine charge est la pratique courante dans les équipements de traitement par lots tels que les fours à diffusion, les fours d'oxydation ou les cuves de nettoyage humide. Des tranches factices sont utilisées pour remplir les emplacements vides dans le bateau à tranches qui ne contiennent pas un nombre suffisant de tranches de produit, ce qui peut réduire l'effet de bord et garantir des conditions de traitement cohérentes pour toutes les tranches de produit, en particulier pour celles situées sur les bords du bateau à tranches.

5. Stabilisation des processus de polissage chimico-mécanique (CMP)

Des tranches factices peuvent également être utilisées dans l'étape de prétraitement du processus CMP pour maintenir la stabilité du processus. Les tests préalables avec des tranches factices optimisent la rugosité et la porosité du tampon de polissage, minimisent les incertitudes du processus pendant la phase de stabilisation de démarrage ou la phase de transition avant l'arrêt, et réduisent les rayures et les défauts des tranches causés par une alimentation anormale en boue et une usure anormale du diaphragme de tête.

Semicorex propose des solutions rentablesPlaquettes factices SiC. Si vous avez des questions ou avez besoin de détails supplémentaires, n'hésitez pas à nous contacter.

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