Revêtements de carbure de tantale dans l'industrie des semi-conducteurs

Le développement de LED bleues et UV de haute puissance a permis la création d'écrans TV LED couleur, ainsi que d'éclairage automobile et domestique à LED blanches. Ces LED sont basées sur du nitrure de gallium, qui est déposé sur des tranches de substrat supportées par un suscepteur en graphite recouvert de SiC CVD à l'aide du procédé MOCVD. Cependant, le revêtement SiC est attaqué par le gaz ammoniac utilisé dans le processus, réduisant ainsi sa durée de vie. Pour améliorer la durée de vie du revêtement et réduire le coût global, l’industrie a besoin d’une nouvelle option de revêtement plus inerte. Le carbure de tantale est envisagé comme substitut, car il peut améliorer considérablement la résistance à cette atmosphère agressive et apporter une solution qui n'est pas disponible actuellement. Semicorex vend des pièces en graphite revêtues de CVD TaC à des fournisseurs de l'industrie des semi-conducteurs.

Nos produits en graphite à revêtement TaC sont connus pour leur résistance thermique supérieure par rapport aux produits en graphite à revêtement SiC. En conséquence, ils sont couramment utilisés dans le traitement des semi-conducteurs, comme le processus épitaxial des tranches de SiC, qui sont utilisées à des températures plus élevées. La demande pour nos produits augmente parallèlement à la croissance du marché.

Semicorex propose des pièces en graphite revêtues de TaC de haute qualité avec un service personnalisé. Si vous avez des questions ou avez besoin de détails supplémentaires, n'hésitez pas à nous contacter.

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