Le graphite est un allotrope de carbone avec une structure cristalline hexagonale en couches. Il possède une excellente conductivité électrique, conductivité thermique, pouvoir lubrifiant, résistance aux températures élevées, résistance aux chocs thermiques et stabilité chimique, et est connu sous le nom d'« or noir ». Pour ces raisons, il est largement utilisé dans la métallurgie, les machines, le génie chimique, le photovoltaïque, les semi-conducteurs, l’industrie nucléaire, la défense nationale et les industries aérospatiales, et est devenu aujourd’hui un matériau non métallique indispensable au développement de hautes et nouvelles technologies.
Différents scénarios d'application ont des exigences de performances variables pour les produits en graphite, ce qui fait de la sélection précise des matériaux une étape essentielle dans l'application des produits en graphite. Le choix de composants en graphite dont les performances correspondent aux scénarios d'application peut non seulement prolonger efficacement leur durée de vie et réduire la fréquence et les coûts de remplacement, mais également contribuer à améliorer la qualité de production et le rendement des produits finaux.
La pureté du graphite détermine directement la durabilité des composants. Les impuretés (telles que Fe, Si, Al) dans les composants en graphite formeront des composés à bas point de fusion dans un environnement sous vide à haute température, ce qui érodera lentement les composants en graphite et entraînera des fissures et des dommages. Pour l'application de fours à vide de haute précision dans le domaine des semi-conducteurs, les composants centraux tels que les radiateurs en graphite, les creusets en graphite, les cylindres d'isolation en graphite et les supports en graphite doivent être constitués de graphite de haute pureté d'une pureté de 5N et supérieure, et la teneur en cendres du matériau doit être strictement contrôlée en dessous de 10 ppm.
La densité et la structure sont souvent négligées dans la sélection des matériaux en graphite, pourtant ces deux indicateurs sont les principaux facteurs déterminant la résistance aux chocs thermiques et au fluage des composants en graphite. Plus la densité du matériau graphite est élevée, plus la porosité des composants est faible, plus leur résistance à la pénétration des gaz et aux chocs thermiques est forte et moins ils risquent de se fissurer pendant l'utilisation. Prenons comme exemple le graphite pressé isostatique : ce type de graphite présente une erreur isotrope inférieure à 1 % et des caractéristiques de dilatation thermique uniformes. Sa résistance aux chocs thermiques est plus de 30 % supérieure à celle du graphite moulé ordinaire et sa résistance au fluage est 3 à 5 fois supérieure à celle du graphite extrudé, ce qui en fait un matériau idéal pour les fours sous vide soumis à des cycles thermiques fréquents.
Il n’est pas nécessaire de rechercher aveuglément des matériaux haut de gamme pour la sélection des composants en graphite. Une sélection précise des matériaux basée sur la température de fonctionnement maximale du four sous vide peut non seulement contrôler les coûts, mais également garantir la durabilité des composants, obtenant ainsi un rapport coût/performance maximal.
La température de fonctionnement est inférieure à 1600℃ :Le graphite ordinaire de haute pureté peut être utilisé pour répondre aux exigences des applications de base.
La température de fonctionnement de 1600℃ à 2000℃ :Grain fin de haute puretégraphite isostatiqueest le choix approprié, qui équilibre durabilité et rapport coût/performance.
La température de fonctionnement dépasse 2000℃ :Le graphite isostatique, le graphite pyrolytique ou les composites C/C doivent être sélectionnés pour garantir des performances constantes dans des conditions de fonctionnement difficiles à haute température.
Appliquer un traitement de surface approprié aux composants en graphite équivaut à leur ajouter un « bouclier protecteur », qui peut résister efficacement à l'oxydation et à l'érosion moyenne et prolonger considérablement leur durée de vie. Voici plusieurs méthodes courantes de traitement de surface pour les composants en graphite :
Un uniforme et denseRevêtement CVD-SiCpeut augmenter considérablement la température de résistance à l'oxydation des composants en graphite et convient à la plupart des composants en graphite des fours sous vide tels queradiateurs, creusetset des cylindres d'isolation. Ce revêtement peut résister efficacement à l'érosion des gaz chimiques tels que l'oxygène, le chlore et la vapeur de silicium dans l'environnement d'exploitation.
Comparé au revêtement CVD SiC,revêtement en carbure de tantalea une meilleure résistance à la corrosion et à haute température, et peut résister à des températures ultra-élevées et à des environnements de corrosion chimique extrêmes, tels que les scénarios d'application difficiles des fours de croissance de cristaux de carbure de silicium.
Un traitement par infiltration de silicium est recommandé pour certains composants porteurs en graphite et composites C/C. Après le traitement, la dureté, la résistance à l’usure et la résistance au fluage des composants seront grandement améliorées. L'imprégnation de résine ou le traitement au charbon pyrolytique peuvent également être adoptés pour remplir les pores de surface des composants en graphite, réduire les dégazages et améliorer l'étanchéité à l'air.