Mandrin électrostatique

Utilisant de la céramique d'alumine de haute pureté, le mandrin électrostatique Semicorex offre des performances de premier ordre dans des environnements qui privilégient la précision, la stabilité et la propreté. L'alumine, également connue sous le nom d'oxyde d'aluminium (Al2O3), est un matériau céramique réputé pour ses propriétés d'isolation électrique exceptionnelles, sa conductivité thermique élevée et sa résistance mécanique exceptionnelle. Ces propriétés en font un matériau idéal pour la construction de mandrins électrostatiques, conçus pour résister aux conditions exigeantes du traitement des semi-conducteurs. L'ESC en céramique d'alumine est conçu pour supporter des températures élevées, des environnements corrosifs et des contraintes mécaniques lors de la manipulation et du traitement des plaquettes, jouant un rôle essentiel pour garantir le rendement et la qualité des dispositifs semi-conducteurs.

Le principe de base du mandrin électrostatique est la force électrostatique, utilisée pour maintenir solidement la plaquette en place. Cette force est générée en appliquant une tension aux électrodes intégrées dans le matériau céramique. L'interaction entre le champ électrostatique et les charges induites sur la surface de la tranche crée une forte force de serrage qui maintient la tranche contre la surface du mandrin. La conception de l'ESC en céramique d'alumine garantit que cette force de serrage est répartie uniformément sur la tranche, minimisant ainsi le risque de glissement ou de dommage pendant le traitement.

L'un des principaux avantages de l'utilisation de la céramique d'alumine dans la construction des mandrins électrostatiques réside dans ses propriétés d'isolation électrique exceptionnelles. La rigidité diélectrique élevée de l’alumine permet l’application de hautes tensions sans risque de claquage électrique, crucial pour maintenir l’intégrité du champ électrostatique. Ceci est particulièrement important dans les processus tels que la gravure au plasma ou le dépôt chimique en phase vapeur, où la tranche est exposée à des environnements hautement réactifs et toute variation de la force de serrage pourrait entraîner des défauts ou des dommages à la tranche.

En plus de ses propriétés électriques, la céramique d'alumine présente une excellente conductivité thermique, essentielle pour gérer la chaleur générée lors du traitement des semi-conducteurs. La capacité du mandrin électrostatique à dissiper efficacement la chaleur permet de maintenir une température stable sur la tranche, réduisant ainsi les gradients thermiques susceptibles de conduire à une déformation ou à d'autres formes de contrainte thermique. Cette stabilité thermique est essentielle pour garantir la précision et la répétabilité de processus tels que la photolithographie, où même de légers écarts de température peuvent affecter le résultat.