Miroirs SIC

Les miroirs SIC semicoréxes sont des composants optiques de haut niveau pour des situations exigeantes qui bénéficient d'une grande stabilité mécanique, d'une conductivité thermique élevée et d'une qualité de surface élevée. Les miroirs sont fabriqués à partir de haute puretécarbure de silicium, qui combine les avantages de faible densité, de rigidité élevée et de stabilité thermique supérieure avantageuse, ce qui en fait le bon choix pour les systèmes optiques de pointe lorsqu'une plate-forme fiable est une nécessité dans les applications robustes. Les miroirs SIC atteignent des performances optiques pendant la contrainte thermique et mécanique extrême, ce qui est important dans la précision de l'optique ou des applications de balayage pour fournir des résultats d'imagerie ou de balayage cohérents et précis.

L'une des applications les plus courantes des miroirs SIC est dans les systèmes de balayage optique où le mouvement rapide et le positionnement précis du faisceau nécessitent des miroirs conçus avec une faible déformation et une bonne stabilité dimensionnelle. La structure des miroirs SIC atteint une masse faible avec une rigidité élevée et permet un balayage rapide sans perte de qualité d'image ou de précision d'alignement. Les miroirs SIC devraient être tout aussi importants dans les systèmes de lithographie avec des précisions nanométriques dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. Le faible coefficient de dilatation thermique du matériau SIC contribue à la constance dans la figure de surface du miroir, avec des fluctuations de température dans l'environnement ayant un impact sur la stabilité de leur forme. Permettant ainsi une fidélité supérieure à un schéma dans l'exposition ultraviolette d'une tranche.

Carbure de silicium (sic)Les miroirs sont devenus le matériau de choix pour les télescopes spatiaux et les instruments astronomiques pour les grandes systèmes optiques d'ouverture. Les caractéristiques légères du SIC permettent des systèmes optiques plus légers et, par conséquent, des coûts de lancement plus bas et une charge structurelle plus faible sur le vaisseau spatial. De plus, le carbure de silicium a une conductivité thermique inhérente qui minimise les gradients thermiques à travers sa surface, ce qui aide à conserver la diffraction des performances limitées au milieu de variations de température extrêmes et un vide dans l'état de l'espace. La durabilité mécanique des miroirs SIC garantit que le miroir maintiendra l'intégrité structurelle sous des charges de lancement importantes et des missions de temps significatives, quelle que soit la durée de la mission.

Cependant, afin de promouvoir des performances optiques encore supplémentaires, les miroirs SIC peuvent avoir des revêtements de surface modifiés par l'utilisation de plusieurs méthodologies de revêtement différentes, selon l'application ou l'environnement optique prévu. Les deux revêtements CVD SIC peuvent fournir une surface ultra-lisse et de haute pureté idéale pour polir dans la finition optique à haute réflectivité, et les revêtements en silicium poli peuvent obtenir une rugosité de surface extrêmement faible pour une utilisation dans le visible ou le proche infrarouge. Tous les revêtements améliorent la réflectivité et la qualité de surface du substrat de miroirs SIC et agissent comme une barrière environnementale pour améliorer la durabilité contre la dégradation de l'environnement et contribuer à la stabilité des performances optiques.

Le processus de fabrication pour les miroirs SIC permet un degré élevé de flexibilité dans la forme et les caractéristiques structurelles pour répondre aux besoins précis de conception optique. Nous livrons des miroirs plats pour une direction de faisceau très précise, des miroirs sphériques pour l'imagerie et la concentration des réflecteurs, et des miroirs asphériques pour un système optique qui peut avoir besoin de traiter les aberrations sphériques et les images précises. De plus, nous pouvons inclure des conceptions complexes d'éclairage dans le substrat de miroir lui-même, ce qui ajoute une réduction de masse supplémentaire sans impact sur la rigidité - des caractéristiques très avantageuses pour les systèmes spatiaux et les systèmes de balayage.

Chaque miroir SIC est fabriqué et poli sur la figure optique requise, qui comprenait, en tant que pas de contrôle de la qualité, la mesure de la rugosité de surface. Les processus de métrologie et de mesure sont utilisés tout au long des travaux pour vérifier la conformité aux tolérances optiques, tandis que les processus de contrôle de la qualité garantissent que le miroir a les performances mécaniques et thermiques et optiques nécessaires pour l'application. Nous allons concevoir et construire vos conceptions et normes uniques personnalisées dans toutes les applications (semi-conducteurs de salle blanche dans l'espace).

Avec leurs propriétés uniques de faible poids, de rigidité élevée, de conductivité thermique substantielle et de la capacité de répondre aux conceptions personnalisées, les miroirs SIC sont une plate-forme idéalement adaptée aux futurs systèmes optiques. Que ce soit utilisé dans le balayage à grande vitesse, la lithographie nanométrique-précision ou les télescopes spatiaux à grande hauteur, ces miroirs offrent des performances et une durabilité inégalées, permettant aux ingénieurs optiques de repousser les limites de l'imagerie et de la technologie de contrôle du faisceau.