2025-06-27
PBN, ou nitrure de bore pyrolytique, appartient au système hexagonal et est un matériau inorganique non métallique avancé avec une pureté allant jusqu'à 99,999%. Il a une bonne densité, pas de pores, une bonne isolation et une conductivité thermique, une résistance à haute température, une inertie chimique, une résistance à l'acide, une résistance aux alcalins et une résistance à l'oxydation. Il a une anisotropie évidente dans les propriétés mécaniques, thermiques et électriques. Il s'agit d'un composant creuseur et clé idéal dans la croissance des cristaux semi-conducteurs (méthode VGF, méthode VB, méthode LEC, méthode HB), synthèse polycristalline, épitaxie MBE, évaporation OLED, équipement semi-conducteur haut de gamme, tubules micro-ondes haute puissance, etc. Dans des conditions de vide à haute température et élevées, des halogénures de bore de haute pureté et de l'ammoniac et d'autres matières premières sont introduits dans la chambre de réaction CVD. Après réaction de fissuration, il se développe lentement à la surface des substrats tels que le graphite. Le PBN peut être transmis directement en conteneurs tels que des creusets, des bateaux et des tubes, ou il peut être déposé d'abord dans des plaques, puis transformés en diverses pièces PBN. Il peut également être enduit sur d'autres substrats de protection, et les spécifications du produit sont personnalisées en fonction des scénarios d'application. Contrairement au nitrure de bore fritté à chaud ordinaire, le PBN est préparé en utilisant un dépôt de vapeur chimique avancé (CVD), qui a de fortes barrières techniques et un degré élevé de concentration de l'industrie.
Les produits PBN jouent un rôle irremplaçable dans le champ semi-conducteur. Les applications en aval impliquent principalement la croissance des cristaux, la synthèse polycristalline, l'épitaxie du faisceau moléculaire (MBE), l'OLED, le dépôt de vapeur chimique organique (MOCVD), les pièces d'équipement semi-conducteur haut de gamme, les pièces aérospatiales et autres champs.
1) Croissance des cristaux
La croissance des monocristaux semi-conducteurs composés (comme l'arséniure de gallium, le phosphure d'indium, etc.) nécessite un environnement extrêmement strict, y compris la température, la pureté des matières premières et la pureté et l'inertie chimique du récipient de croissance. PBN Crucible est actuellement le récipient le plus idéal pour la croissance monocristal des semi-conducteurs composés. Les principales méthodes de croissance monocristal des semi-conducteurs composées sont la méthode LEC, la méthode HB, la méthode VB et la méthode VGF. Les creusets PBN correspondants comprennent LeC Crucible, VB Crucible et VGF Crucible.
2) Epitaxy du faisceau moléculaire (MBE)
MBE est l'un des processus de croissance épitaxiale les plus importants des semi-conducteurs III-V et II-VI au monde aujourd'hui. Ce type de technologie est une méthode de croissance des films minces de couche par couche le long de l'axe cristallin du matériau du substrat sous des substrats appropriés et des conditions appropriées. PBN Crucible est un conteneur de fournaise source nécessaire dans le processus MBE.
3) Affichage de diodes électrophiées organiques (OLED)
L'OLED est considéré comme une nouvelle génération de technologies d'affichage plat en raison de ses excellentes caractéristiques telles que l'auto-luminaison, pas besoin de rétro-éclairage, de contraste élevé, d'épaisseur mince, d'angle de vue large, de vitesse de réaction rapide, peut être utilisé pour des panneaux flexibles, une large plage de température de fonctionnement, une structure et un processus simples. L'évaporateur est le composant central du système d'évaporation OLED. Parmi eux, l'anneau de guidage PBN et le creuset sont les principaux composants de l'unité d'évaporation. L'anneau de guidage doit avoir une bonne conductivité thermique et des performances d'isolation, peut être transformée en formes complexes et ne déforme pas ou ne libère pas le gaz à des températures élevées. Le creuset doit avoir une pureté ultra-élevée, une résistance à haute température, une isolation électrique et aucun mouillage avec le matériau source. PBN est un matériau idéal pour une utilisation généralisée.
4) équipement semi-conducteur haut de gamme
Alors que les puces semi-conductrices continuent de se développer vers la miniaturisation et la grande puissance, les exigences pour les équipements et les systèmes de fabrication de semi-conducteurs deviennent de plus en plus élevés. Les produits de matériaux PBN sont largement utilisés dans les composants centraux de l'équipement haut de gamme en raison de leur pureté ultra-élevée, de leur conductivité thermique élevée, de leur isolation électrique, de leur résistance à la corrosion, de leur résistance à l'oxydation et de la diverses anisotropie des performances.
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