Rabagratifs en graphite enduit conducteur

Lechauffage en graphite à revêtement conducteurest un nouveau produit conçu pour le traitement des semi-conducteurs à haute température et d'autres systèmes thermiques sous vide. Il utilise la bonne stabilité thermique du graphite de haute pureté et les excellentes caractéristiques de surface d'un revêtement en carbure de silicium (SIC). Le réchauffeur de graphite à revêtement conducteur est en outre différencié par sa couche SIC dopée à l'azote qui offre une conductivité de surface considérablement améliorée, ce qui le rend particulièrement bien adapté aux applications qui nécessitent un chauffage contrôlé et même avec de grandes performances électriques.

Le radiateur est construit avec un substrat de graphite haute résistance, qui agit comme le conducteur structurel et thermique central. Le graphite a été choisi, spécifiquement compte tenu de ses niveaux élevés de conductivité thermique, de coefficient de dilatation thermique faible et de résilience au choc thermique. Ces caractéristiques font du graphite un matériau de base approprié dans des applications de processus à haute température où il peut y avoir des cycles de chauffage et de refroidissement rapides. Cependant, le graphite vierge lui-même est chimiquement réactif dans certaines atmosphères et peut subir des dommages ou une dégradation de surface, des émissions de particules ou du report pendant une utilisation prolongée, en particulier dans les environnements de salle blanche semi-conducteurs.

Pour surmonter ces limitations, la partie graphite est recouverte d'une couche SIC épaisse de haute pureté. Le revêtement SIC remplit plusieurs fonctions: il offre un niveau de protection contre l'oxydation et la corrosion chimique, il fournit une surface très dure et résistante à l'usure, et il assure la compatibilité avec les normes de vide et de salle de couture. Le SIC a une réputation de dureté extrême, de conductivité thermique élevée et d'inertie chimique; Pour cette raison, il s'agit d'un excellent matériau de revêtement pour les composants thermiques à haute performance.

L'innovation unique de ce produit est le dopage d'azote du revêtement SIC. Pendant le processus de dépôt chimique de vapeur (CVD), les atomes d'azote sont intégrés dans le réseau SIC, produisant des porteurs libres, qui peuvent diminuer considérablement sa résistivité de surface, et donc créer une couche de surface conductrice et permettre au courant de passer directement, plutôt que d'utiliser un point de réalisation résiatif, à travers le revêtement SIC, permettant ainsi à l'ensemble de la composante de la graphite pour agir comme un élément de chauffage résistif.

ClassiqueRevêtements sicsont isolants, ce qui les limite vraiment dans la portée des applications électriques actives. À l'inverse, la couche SiC dopée à l'azote sur le radiateur a une résistance de surface extrêmement faible tout en conservant tous les avantages mécaniques et chimiques du sic classique. La couche conductrice fournit une très bonne uniformité de courant et minimise la perte de puissance tout en améliorant la distribution thermique sur la surface du radiateur. Il est particulièrement idéal pour les applications de chauffage de précision dans des conditions souvent associées aux réacteurs épitaxiaux, aux fours de diffusion et aux équipements de traitement thermique rapide (RTP).

La géométrie du radiateur, généralement en spirale ou serpentine comme indiqué dans l'image, est conçue et optimisée dans l'intention de produire une énergie de sortie thermique uniforme et une charge électrique uniforme. Avec la conception intégrée du graphite et le revêtement SIC conducteur, les contacts électriques peuvent être effectués directement sur la surface revêtue qui élimine le besoin d'électrodes supplémentaires ou de connexion métallique. Cela réduit les risques de contamination et entraîne un assemblage plus simple. Par conséquent, l'efficacité globale est améliorée.

Avantages clés du conducteurChauffage en graphite enduit SICinclure:

Excellente conductivité électrique due au dopage d'azote, permettant un flux de courant direct et un chauffage résistif efficace.

Uniformité thermique supérieure avec un contrôle de température précis sur toute la surface.

Une résistance chimique élevée, en particulier dans des environnements corrosifs tels que l'hydrogène, l'ammoniac ou les atmosphères riches en halogène.

Génération minimale de particules, répondant aux exigences de pureté strictes de la fabrication de semi-conducteurs.

Durée de vie prolongée, en raison de la durabilité mécanique et de la résistance aux chocs thermiques du noyau graphite et du revêtement SIC.

Les applications de ce radiateur s'étendent dans un certain nombre d'industries de technologie de pointe. Le radiateur trouvera une place dans les processus de fabrication de semi-conducteurs comme le dépôt chimique de vapeur (CVD), l'épitaxie du faisceau moléculaire (MBE) et le recuit de la plaquette, où le contrôle précis de la température et la pureté des matériaux sont essentiels. Le radiateur en graphite enduit de SiC peut également être utilisé dans la production photovoltaïque, le frittage de céramiques avancées et dans d'autres processus thermiques où des performances plus élevées, une durabilité et des radiateurs robustes sont nécessaires.

En résumé, le réchauffeur de graphite à revêtement SIC conducteur est une progression impressionnante dans le développement de composants thermiques. En utilisant un revêtement SIC dopé à l'azote, nous avons développé un produit thermique efficace, qui combine avec succès la stabilité chimique du revêtement SIC avec une conductivité électrique. Ainsi, la production d'un processus thermique plus efficace, plus propre et plus fiable pour les applications industrielles les plus exigeantes. Les industries des semi-conducteurs et des matériaux sont confrontées à un changement continu et des matériaux hybrides de ce type deviendront de plus en plus importants pour permettre de futures technologies plus avancées pour la fabrication.

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