Que sont les plaquettes de verre ?

Avec le développement des technologies des semi-conducteurs et de l'optique,plaquettes de verreen tant que nouveau type de produit en verre, ils deviennent progressivement un complément aux plaquettes de silicium, montrant un grand potentiel dans le domaine de la haute technologie. Que sont les plaquettes de verre ? Les plaquettes de verre sont de fines tranches circulaires très performantes, généralement constituées de verre de quartz, de verre sans alcali ou de composites verre-silicium. Dotés d'excellentes propriétés physiques et chimiques, ils jouent un rôle irremplaçable dans les domaines manufacturiers de pointe, tels que la fabrication de semi-conducteurs, l'optique, les MEMS, l'électronique grand public, la biomédecine et la recherche en laboratoire.

Les matériaux courants pour les plaquettes de verre

1. Verre de quartz ultraviolet lointain

Ultraviolet lointainquartzle verre est fabriqué par le procédé de dépôt chimique en phase vapeur, dans lequel le tétrachlorure de silicium gazeux subit une réaction en phase gazeuse dans une flamme oxyhydrogène pour générer du dioxyde de silicium amorphe, qui est ensuite déposé sur un substrat de quartz pour une croissance et une formation progressives. Ce matériau contient une grande quantité de groupes hydroxyle (950-1400 ppm), avec une petite quantité totale d'impuretés métalliques inférieure à 0,2 ppm. Grâce à ses excellentes propriétés telles que les propriétés anti-rayonnement, l'uniformité optique et la transmission élevée des ultraviolets (en particulier dans la région des ultraviolets lointains), le verre de quartz pour les ultraviolets lointains est largement utilisé dans les applications dans le domaine de l'optique des ultraviolets lointains.

Cependant, l'application à grande échelle du verre de quartz ultraviolet lointain est limitée dans une certaine mesure par des facteurs tels que les défauts de rayures faciles à générer au cours du processus de préparation, la difficulté de moulage de produits de grande taille et de forme complexe et le coût de fabrication relativement élevé.

2. Verre de quartz optique ultraviolet :

Le verre de quartz optique ultraviolet via le processus de fusion à la flamme est fabriqué en faisant fondre des cristaux naturels avec une flamme oxyhydrogène, suivi d'un dépôt sur la surface de cibles en verre de silice fondue. Le verre de quartz optique ultraviolet avec une teneur en hydroxyle de 150 à 400 ppm offre des avantages exceptionnels, comme une transmission ultraviolette élevée, une forte stabilité chimique, une bonne stabilité thermique et une résistance mécanique élevée. Bénéficiant de son processus de fabrication mature et de sa rentabilité élevée, le verre de quartz optique ultraviolet est largement utilisé dans les industries de l'électronique et des semi-conducteurs.

Cependant, le verre de quartz optique ultraviolet a une faible uniformité optique et peut contenir des défauts microscopiques tels que des stries et des microbulles, qui pourraient affecter la qualité de l'imagerie optique et la stabilité de la transmission laser.

3. Verre de quartz optique infrarouge :

Le verre de quartz optique infrarouge est produit en faisant fondre de la poudre de cristal à l’aide du processus d’électrofusion sous vide. Ce matériau a une faible teneur en hydroxyle (<5 ppm), ce qui se traduit par une transmission infrarouge supérieure. Grâce à sa transmission infrarouge supérieure, ses propriétés chimiques, sa résistance mécanique élevée et sa technologie de fabrication mature, le verre de quartz optique infrarouge est largement utilisé dans les applications d'optique infrarouge.

Cependant, le verre de quartz optique infrarouge contient des impuretés métalliques élevées et offre un seuil de dommage laser relativement faible, ce qui le rend inadapté aux applications laser à haute densité d'énergie et aux scénarios nécessitant une transmission de la lumière ultraviolette lointaine extrêmement élevée.