Qu'est-ce que les pagaies cantilever ?

Lors du traitement des tranches de semi-conducteurs, des fours spécialisés sont utilisés pour chauffer les tranches. Ces fours contiennent des tubes cylindriques allongés dans lesquels les tranches sont placées sur des bateaux à tranches à des positions prédéterminées et équidistantes. Pour garantir que l'équipement de traitement ne gaspille pas les tranches et pour résister aux conditions de traitement à l'intérieur de la chambre, les bateaux à tranches et autres dispositifs utilisés dans le traitement des tranches sont fabriqués à partir de matériaux tels que le carbure de silicium (SiC).

Les bateaux à plaquettes, chargés d'un lot de plaquettes à traiter, sont positionnés sur de longues palettes en porte-à-faux. Ces palettes peuvent être insérées et retirées des fours tubulaires et des réacteurs. Les pagaies se composent d'une section de support aplatie pouvant contenir un ou plusieurs bateaux et d'une longue poignée située à une extrémité de la section de support aplatie pour une manipulation facile.

Pour obtenir les meilleurs composants dans le traitement des semi-conducteurs, il est recommandé d'utiliser une palette en porte-à-faux en carbure de silicium recristallisé avec une fine couche CVD SiC. Ce matériau est d’une grande pureté et constitue le meilleur choix pour de tels composants.

Semicorex fabrique des palettes en porte-à-faux personnalisées avec un revêtement CVD SiC de haute qualité. Si vous avez des questions ou avez besoin de détails supplémentaires, n'hésitez pas à nous contacter.

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