Revêtement TaC avec méthode CVD

Le revêtement en carbure de tantale est un matériau structurel important à haute résistance, résistant à la corrosion et chimiquement stable à haute température avec un point de fusion allant jusqu'à 4 273 °C, l'un des nombreux composés présentant la résistance à la température la plus élevée. Il possède d'excellentes propriétés mécaniques à haute température, une résistance au récurage par flux d'air à grande vitesse, une résistance à l'ablation et une bonne compatibilité chimique et mécanique avec le graphite et les composites carbone/carbone. Par conséquent, dans le processus épitaxial des LED GaN et des dispositifs d'alimentation SiC tels que MOCVD, le revêtement TaC présente une excellente résistance aux acides et aux alcalis contre H2, HCl, NH3, ce qui peut protéger complètement le matériau du substrat en graphite et purifier l'environnement de croissance.

Le revêtement TaC reste stable à des températures supérieures à 2 000 °C, tandis que le revêtement SiC commence à se décomposer entre 1 200 et 1 400 °C, ce qui améliorera également considérablement l'intégrité du substrat en graphite. Les revêtements en carbure de tantale sont actuellement préparés sur des substrats en graphite principalement par CVD, et la capacité de production de revêtements TaC sera encore renforcée pour répondre à la demande de dispositifs de puissance SiC et de dispositifs épitaxiaux GaNLED.

Le système de réaction chimique utilisé pour déposer des revêtements de carbure de tantale sur des matériaux carbonés par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) est le TaCl5, le C3H6, le H2 et l'Ar, où Ar est utilisé comme gaz de dilution et de transport.

Les revêtements en carbure de tantale jouent un rôle central dans le processus d'épitaxie des LED GaN et des dispositifs d'alimentation SiC utilisant le MOCVD. Les matériaux avancés protègent les composants vitaux, garantissant leur longévité et leurs performances dans les conditions difficiles associées à la fabrication de semi-conducteurs à haute température.

Alors que la demande de dispositifs de puissance SiC et de LED GaN continue d'augmenter, la capacité de production de revêtements en carbure de tantale est appelée à augmenter. Les fabricants sont prêts à répondre aux exigences croissantes de ces industries, facilitant ainsi l’évolution de la technologie haute température.

En conclusion,revêtements en carbure de tantalereprésentent un incroyable bond technologique pour garantir la durabilité et la fiabilité des matériaux dans des environnements à haute température. Alors qu’ils continuent de révolutionner les secteurs des semi-conducteurs et de l’électronique de puissance, ces revêtements soulignent leur statut d’élément essentiel des avancées technologiques modernes.