Produits à base de quartz dans les applications semi-conductrices

Dans l'industrie des semi-conducteurs, le quartz est largement utilisé et les produits à base de quartz de haute pureté constituent des consommables encore plus importants dans la production de plaquettes. La production de creusets monocristallins en silicium, de bateaux à cristal, de tubes à noyau de four à diffusion et d'autres composants en quartz doit utiliser des produits en verre de quartz de haute pureté. Les pièces en quartz dans le domaine des semi-conducteurs, les principales applications du marché cible pour le processus de diffusion et de gravure de fonderie de plaquettes, peuvent être divisées en deux catégories de dispositifs à zone haute température et de dispositifs à zone basse température, les principaux dispositifs utilisés sont les suivants :

1) Les dispositifs de zone à haute température sont principalement l'oxydation par diffusion et d'autres aspects de l'utilisation de tubes de four, de supports de bateaux en verre, etc., doivent être dans un environnement à haute température, directement ou indirectement en contact avec la plaquette de silicium ; principalement l'approvisionnement en verre de quartz électrofondu, produit par traitement thermique ;

2) Les dispositifs de zone à basse température sont principalement des maillons de gravure tels que des anneaux de quartz, mais comprennent également des paniers de processus de nettoyage, des réservoirs de nettoyage, etc., principalement utilisés dans des environnements à basse température ; Verre de quartz de raffinage du gaz principalement acheté, via la production par traitement à froid

Parmi eux, les dispositifs à zone haute température consomment plus rapidement, mais de manière similaire à la machine multi-puces (un support pour transporter plus d'une plaquette), les dispositifs à zone basse température consomment plus lentement, mais monolithiques (un support pour transporter une plaquette). ; par conséquent, la taille globale des deux marchés est relativement proche l’une de l’autre.