Qu'est-ce qu'un bateau SiC et quels sont ses différents procédés de fabrication ?

1. Les différents procédés de fabrication deBateau SiC

(1) Enduire une couche deFilm SiCà la surface du graphitebateaux en cristalvia CVD

Ce type de bateau possède un noyau en graphite usiné en une seule pièce. Cependant,le graphite est poreuxet sujet à la génération de particules, nécessitant l'application d'unRevêtement de film SiCà sa surface. En raison de l'inadéquation du coefficient de dilatation thermique (CTE) entre le corps en graphite et leFilm SiC, le revêtement est susceptible de se décoller après plusieurs cycles de chauffage et de refroidissement, entraînant une contamination par des particules. Ces bateaux sont les moins chers et ont une durée de vie d'environ un an.

(2) Enduire une couche deFilm SiCsur recristalliséBateaux en cristal SiC

RecristalliséBateaux SiCsont également poreux et peuvent facilement générer des particules. Par conséquent, les composants individuels du cristalliséBateaux SiCdoivent être préformés, frittés, puis usinés séparément. Ensuite, les composants sont liés ensemble à haute température à l’aide de pâte Si. Une fois assemblé en un seul bateau, unFilm SiCest appliqué via CVD. Cela a recristalliséBateau SiCa le processus de fabrication le plus long et est coûteux, mais la surfaceRevêtement CVDpeut également être endommagé, avec une durée de vie d'environ trois ans.

(3)MonolithiqueBateaux en cristal SiC

Cesbateauxsont entièrement composés de matériau SiC. La poudre SiC doit être moulée et frittée sous la forme d’un bateau monolithique. Extrêmement coûteux, ils sont très durables et moins susceptibles de générer des particules. Cependant, ces bateaux contiennent 10 à 15 % de silicium libre, susceptible d'être érodé par le fluor et le chlore, entraînant une contamination par des particules.

2. Pourquoi le nettoyage à sec n’est pas recommandé ?

En résumé, pourBateaux SiCenduit d'unFilm SiC via CVD, le revêtement de surface a tendance à s'écailler lors du nettoyage à sec, ce qui provoque une contamination par des particules. Pour monolithiqueBateaux SiCqui contiennent une petite quantité de silicium libre, l'exposition à des gaz contenant du fluor ou du chlore peut entraîner une érosion et une génération de particules, provoquant ainsi une contamination.**