Graphite poreux pour la croissance des cristaux SiC

Actuellement, la plupart des fabricants de substrats SiC utilisent une nouvelle conception de processus de champ thermique de creuset avec des cylindres de graphite poreux : placer des matières premières de particules de SiC de haute pureté entre la paroi du creuset en graphite et le cylindre de graphite poreux, tout en approfondissant l'ensemble du creuset et en augmentant le diamètre du creuset. L'avantage est que, tandis que le volume de chargement augmente, la surface d'évaporation des matières premières augmente également. Le nouveau procédé résout le problème des défauts cristallins, provoqués par la recristallisation de la partie supérieure de la matière première à mesure que la croissance progresse à la surface du matériau source, affectant le flux matériel de sublimation. Le nouveau procédé réduit également la sensibilité de la distribution de température dans la zone des matières premières à la croissance des cristaux, améliore et stabilise l'efficacité du transfert de masse, réduit l'impact des inclusions de carbone dans les étapes ultérieures de la croissance et améliore encore la qualité des cristaux de SiC. Le nouveau procédé utilise également une méthode de fixation de support cristallin sans pépins qui ne colle pas au cristal germe, permettant une dilatation thermique libre et propice au soulagement des contraintes. Ce nouveau procédé optimise le champ thermique et améliore grandement l'efficacité de l'expansion du diamètre.

La qualité et le rendement des monocristaux de SiC obtenus par ce nouveau procédé dépendent fortement des propriétés physiques du graphite en creuset et du graphite poreux. La demande urgente de graphite poreux haute performance rend non seulement le graphite poreux extrêmement coûteux, mais provoque également une grave pénurie sur le marché.

Exigences de performance de base degraphite poreux

(1) Distribution appropriée de la taille des pores ;

(2) Porosité suffisamment élevée ;

(3) Résistance mécanique répondant aux exigences de traitement et d’utilisation.

Semicorex offre des produits de haute qualitégraphite poreuxles pièces. Si vous avez des questions ou avez besoin de détails supplémentaires, n'hésitez pas à nous contacter.

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