Pourquoi choisir des suscepteurs en graphite revêtus de SiC ?

Suscepteur en graphiteest l'une des pièces essentielles de l'équipement MOCVD, est le support et le réchauffeur du substrat de plaquette. Ses propriétés de stabilité thermique et d'uniformité thermique jouent un rôle décisif dans la qualité de la croissance épitaxiale de la plaquette, qui détermine directement l'uniformité et la pureté des matériaux de la couche, de sorte que sa qualité affecte directement la préparation de l'épitaxie. En attendant, avec l'augmentation du nombre d'utilisations et l'évolution des conditions de travail, il est très facile à perdre, et fait partie des consommables. L'excellente conductivité thermique et la stabilité du graphite en font un bon avantage en tant queun composant de base pour l'équipement MOCVD. Cependant, si seul du graphite pur est utilisé, il rencontrera certains problèmes. Il y aura des gaz corrosifs et des résidus organiques métalliques dans le processus de production, et la base de graphite se corrodera et laissera tomber la poudre, ce qui réduira considérablement la durée de vie dususcepteur en graphite, et la poudre de graphite tombée causera également une pollution de la puce, donc dans le processus de préparation de la base également Ces problèmes doivent être résolus lors de la préparation de la base. La technologie de revêtement peut fournir une fixation de poudre de surface, améliorer la conductivité thermique et égaliser la distribution thermique, qui devient la technologie principale pour résoudre ce problème. La technologie principale est de résoudre ce problème. Selon l'environnement d'application et les exigences desuscepteurs en graphite, le revêtement de surface doit avoir les caractéristiques suivantes.

Densités élevées et enveloppement complet : la base de graphite dans son ensemble est dans un environnement de travail corrosif à haute température, la surface doit être entièrement enveloppée, tandis que le revêtement doit avoir de bonnes densités pour jouer un bon rôle de protection.

Bonne planéité de surface : la base de graphite utilisée pour la croissance des monocristaux nécessitant une planéité de surface très élevée, la planéité d'origine de la base doit être maintenue après la préparation du revêtement, c'est-à-dire que la surface du revêtement doit être uniforme.

Bonne force de liaison : la réduction de la différence de coefficient de dilatation thermique entre la base de graphite et le matériau de revêtement peut améliorer efficacement la force de liaison entre eux, et le revêtement n'est pas facile à se fissurer après des cycles thermiques à haute et basse température.

Conductivité thermique élevée : La croissance des copeaux de haute qualité nécessite une chaleur rapide et uniforme de la base en graphite, de sorte que le matériau de revêtement doit avoir une conductivité thermique élevée.

Point de fusion élevé, oxydation à haute température et résistance à la corrosion : le revêtement doit pouvoir fonctionner de manière stable dans des environnements de travail à haute température et corrosifs.