Connaître la pagaie en porte-à-faux

Pendant le traitement, les tranches de semi-conducteur doivent généralement être chauffées dans un four spécialisé. Ces fours sont généralement constitués de longs tubes cylindriques minces. Les tranches sont positionnées dans le four et le réacteur de telle manière qu'elles sont disposées le long d'un plan défini par la section transversale circulaire du four ou du réacteur et sont espacées en des points prédéterminés, généralement équidistants, le long de l'axe central du four ou réacteur. Pour réaliser ce positionnement, les plaquettes sont généralement placées sur des supports à fentes, appelés nacelles à plaquettes, qui placent les plaquettes dans une configuration espacée alignée le long de l'axe central.

De petites nacelles contenant des lots de plaquettes à traiter sont placées sur de longues palettes en porte-à-faux à travers lesquelles des fours tubulaires et des réacteurs peuvent être insérés et retirés. De telles pagaies comprennent typiquement une section de support plate sur laquelle un ou plusieurs petits bateaux peuvent être placés, et une longue poignée, située à une extrémité de la section de support plate, par laquelle les pagaies peuvent être manipulées. Une partie de transition est généralement formée entre la poignée et la partie de support pour les faire un tout. De plus, la poignée doit s'étendre hors du four ou du réacteur de façon à ce que celle-ci et la nacelle à tranches puissent être manipulées.

Le positionnement de la plaquette dans le four ou le réacteur est important car il est souhaitable de placer le centre de chaque plaquette aussi près que possible de l'axe central du four ou du réacteur pour obtenir des conditions de traitement uniformes auxquelles les plaquettes sont soumises. Par conséquent, la flexion de la palette causée par le poids du navire transportant les tranches doit être prise en compte dans la conception de la palette, d'autant plus que la palette est supportée à une seule extrémité, c'est-à-dire l'extrémité qui dépasse de la chambre du four. En plus de tenir compte de la conception de la pagaie résultant des exigences de poids opérationnel, un ensemble de pinces conçues pour maintenir précisément l'extrémité étendue de la pagaie en position doit également être utilisé. Ces pinces doivent être assez robustes pour maintenir la palette dans une position précisément souhaitée tout en étant simples à utiliser et en minimisant les risques d'endommagement de la palette lors du serrage.

Il fallait donc une palette en porte-à-faux pouvant être utilisée avec une charge plus lourde tout en restant compatible avec les systèmes de bridage existants. Il y avait également un besoin pour une pagaie en porte-à-faux qui présentait des caractéristiques de déviation acceptables sur toute la gamme de charges de poids avec lesquelles elle pouvait être utilisée.

Le cIl est recommandé d'utiliser une palette anti-levier en carbure de silicium recristallisé avec une couche mince de SiC CVD, qui est de haute pureté et le meilleur choix pour les composants dans le traitement des semi-conducteurs.

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