Bras robotiques Bernoulli en alumine

​Les bras robotisés sont principalement utilisés dans les processus front-end de fabrication de semi-conducteurs comme la photolithographie et la gravure, où ils participent directement à la manipulation, au transfert et au positionnement des tranches de semi-conducteurs. SemicorexalumineLes bras robotiques Bernoulli sont des effecteurs terminaux en céramique qui réalisent l'adsorption et le transfert de plaquettes basés sur le principe de Bernoulli, offrant des performances exceptionnelles en termes de propreté, de stabilité, de précision, d'efficacité et de fiabilité.

Adsorption sans contact

Les bras robotiques Bernoulli en alumine Semicorex peuvent réaliser une adsorption sans contact ferme et stable des plaquettes en utilisant leur configuration et leur système de flux d'air spécialement conçus. Cette méthode de fonctionnement sans contact peut éviter le contact direct avec les tranches de semi-conducteurs et empêcher grandement la contamination des tranches ou les dommages provoqués par le contact physique, ce qui est particulièrement approprié aux conditions de travail ultra-propres et au transfert délicat des tranches.

Performances physiques et chimiques fiables

La céramique d'alumine présente une dureté et une résistance excellentes, ce qui rend l'alumine Semicorex Bernoullibras robotiquesbien adapté à la manipulation à long terme de plaquettes semi-conductrices sans déformation ni dommage.

Les bras robotiques Bernoulli en alumine Semicorex offrent également une résistance fiable à la corrosion chimique et peuvent résister aux environnements d'exploitation difficiles des gaz corrosifs et du plasma, présentant une durabilité constante sur une longue période de temps.

Contrôle strict de la propreté

Les bras robotiques Bernoulli en alumine Semicorex sont fabriqués à partir de poudre d'alumine de haute pureté par pressage isostatique de précision et frittage à haute température. Cette méthode précise de sélection et de traitement des matériaux permet aux bras robotiques Semicorex alumine Bernoulli d'avoir une structure céramique pure et dense. Cela réduit considérablement les risques de contamination des plaquettes causée par les impuretés indésirables provenant des conditions de fonctionnement.

Contrôle de précision supérieur

Finis avec un meulage et un polissage précis, les bras robotiques Bernoulli en alumine Semicorex offrent une précision dimensionnelle exceptionnelle et une planéité de surface supérieure, ce qui les rend parfaitement adaptés à la fabrication automatisée de semi-conducteurs de haute précision. De plus, les bras robotiques Bernoulli en alumine Semicorex offrent une excellente stabilité thermique même lorsqu'ils sont exposés à des environnements présentant de fortes fluctuations de température, ils peuvent maintenir une excellente précision de positionnement et de manipulation répétitive.