Effecteur final en céramique en alumine

L'effecteur final en céramique de l'alumine semicoréx est un outil essentiel dans les systèmes de transfert automatisés, offrant une résistance mécanique inégalée, une stabilité thermique et une résistance chimique. Fabriqué à l'aide de haute puretéAlumine (al₂o₃) céramique, cet effecteur final est conçu pour répondre aux exigences strictes des environnements de traitement des plaquettes, où la précision, la propreté et la durabilité sont primordiales.

Les bras de robot semi-conducteur sont l'une des parties importantes de l'équipement semi-conducteur. Ils sont généralement composés de contrôleurs, de chauffeurs, d'armes et d'effecteurs finaux. Ils se caractérisent par une propre propreté, une stabilité élevée, une haute précision, une grande efficacité et une forte fiabilité. Les robots semi-conducteurs sont principalement utilisés dans le processus frontal de la fabrication de semi-conducteurs pour transporter, transporter et positionner les plaquettes de semi-conducteur.

La structure en céramique ayant une teneur en alumine généralement supérieure à 99,5% fournira une dureté supérieure et une résistance à l'usure pour des mouvements répétés dans des environnements de haute précision sans dégradation au fil du temps. La conductivité thermique élevée et la faible tentative thermique de l'alumine permettent une stabilité dimensionnelle dans des environnements à température élevée, une nécessité dans la plupart des opérations de salle blanche en semi-conducteurs, comme dans un outil de graveur, de dépôt, d'inspection ou de nettoyage.

Lecéramique en alumineEffecteur final a une finition de surface caractéristique notable qui est lisse et a une faible porosité, ce qui le rend près de particules nulles générées et de minimisation ou un effet nul sur les contaminants pendant la manipulation des plaquettes. De plus, l'alumine est chimiquement inerte. Cela signifie qu'il ne réagira pas avec aucun des gaz de processus et les liquides de processus avec lesquels la tranche est en contact. Cela protège la plaquette et toute contamination à lui-même et à l'équipement de tout ce qui peut provoquer de la corrosion.

Ils sont généralement utilisés comme effecteurs finaux, ou un mécanisme de serrage, pour les bras robotiques ou les modules de transfert dans des équipements de fabrication de plaquettes et des équipements comme un outil d'étape ou de dépôts, une inspection ou un outil de nettoyage avec des machines à sous précises, des rainures ou des canaux sous vide capturant la taille de la plaquette, qu'il s'agisse de 100 mm, 200 mm ou de 300 mm et de transfert de wafers et de capture de la remplacement pour la réduction. Les effecteurs finaux géreront généralement les vitesses de transferts de tranche à 25 cm / seconde.

Des options de personnalisation existent dans le sens de conçus pour des interfaces d'équipement spécifiques ou des tailles de plaquette. La rigidité structurelle de l'alumine permet des profils minces et légers qui minimisent la masse globale du système de manutention et conduisent à des temps de réponse plus rapides. Certaines configurations peuvent également ajouter des composants antistatiques ou isolants pour fournir une protection supplémentaire aux substrats électroniques sensibles.

Dans l'ensemble, l'effecteur final en céramique de l'alumine fournit une solution efficace qui favorise un rendement amélioré et une contamination réduite, où la fiabilité opérationnelle est des éléments clés pour la ligne de traitement de la plaquette. Avec ses caractéristiques de durabilité et de performance physique, l'effecteur de terminal en céramique en alumine efficace et rentable se distingue comme un choix populaire parmi les fabricants d'équipements de semi-conducteurs et les FAB qui nécessitent des normes de production strictes dans un environnement ultra-claire.