Manipulateur en céramique d'alumine

Manipulateur en céramique d'alumineest également appelé effecteur final de manipulation de fourchettes et de plaquettes en céramique d'alumine. Il est installé sur le robot de manipulation de plaquettes et équivaut à la main du robot. Il est utilisé pour transporter, transporter et positionner des tranches de semi-conducteurs.Plaquettes de siliciumsont extrêmement sensibles à la contamination par d’autres particules, ils sont donc généralement manipulés dans un environnement sous vide pour garantir la propreté. Les manipulateurs en céramique d'alumine utilisent une aspiration à pression négative pour retirer les tranches et transporter les tranches de semi-conducteurs à travers les mouvements de télescopage, de rotation et de levage du bras. Il y a des trous d'aération et des rainures de ventilation à l'intérieur du manipulateur en céramique d'alumine, qui peuvent former un vide lors du pompage de l'air, de sorte que les tranches semi-conductrices puissent être adsorbées par contact léger sans pincer ou endommager les tranches semi-conductrices.

Il est bien connu que plus la composition decéramique d'aluminec'est-à-dire que plus sa force sera élevée. Les manipulateurs en céramique d'alumine Semicorex sont fabriqués en céramique d'alumine de haute pureté. Il en résulte une résistance mécanique et une dureté exceptionnelles. Leur résistance à l'usure dépasse de loin celle de l'acier et de l'acier chromé, ce qui leur permet de maintenir la précision de leur surface au fil du temps dans des environnements à forte friction, réduisant ainsi le risque de rayures sur les plaquettes et les rendant idéaux pour une manipulation de haute précision. Ce manipulateur en céramique d'alumine possède une haute résistivité. Ses propriétés d'isolation électrique exceptionnelles peuvent prévenir efficacement les interférences électrostatiques et réduire le risque d'adsorption de particules afin de maintenir une surface de tranche propre. De plus, le processus de fabrication des semi-conducteurs implique des circuits complexes et des environnements à haute tension au sein de l'équipement. Le manipulateur en céramique d'alumine à haute résistance bloque efficacement la conduction du courant, garantissant ainsi la sécurité électrique lors de la manipulation des plaquettes semi-conductrices. Grâce à la résistance à haute température et à la stabilité thermique de la céramique d'alumine, le manipulateur se déforme très peu pendant le processus de traitement thermique des semi-conducteurs, peut positionner avec précision les tranches et éviter les écarts de précision causés par la déformation thermique. De plus, ce matériau présente une excellente stabilité chimique et est très résistant à la corrosion par les acides, les alcalis, les métaux fondus, etc. Il n'est pas facile de réagir avec d'autres substances pour libérer des particules polluantes et peut protéger efficacement les pièces semi-conductrices de la contamination chimique.