Mandrins à vide en céramique d'alumine

Mandrins à vide en céramique d'aluminesont généralement placés dans la zone centrale de la zone de traitement des équipements semi-conducteurs, chargés de soutenir et de fixer les tranches semi-conductrices. Ils sont connectés aux pompes à vide et peuvent adsorber étroitement les plaquettes semi-conductrices sur la surface des mandrins à vide en céramique d'alumine en utilisant le principe d'adsorption sous vide. En fonctionnement réel, les pompes à vide extraient l'air entre la plaquette et le mandrin, créant un environnement de vide qui maintient fermement la plaquette en position. Cela garantit un positionnement stable de la tranche pendant le traitement et réduit efficacement les erreurs d'usinage provoquées par le déplacement de la tranche.

Pour générer une force d'adsorption suffisante pour fixer la plaquette semi-conductrice, le mandrin à vide en céramique d'alumine doit adhérer fermement à la surface de la plaquette. Étant donné qu'une force d'adsorption insuffisante entraînera un échec du maintien de la condition de vide, provoquant ainsi le détachement ou le déplacement de la tranche. Cela impose des exigences strictes en matière de planéité de la surface des mandrins à vide en céramique d'alumine afin d'éviter de tels problèmes à la source. Leur surface doit être polie mécaniquement avec précision pour obtenir la planéité requise afin de garantir l'effet d'adsorption attendu.

D'un point de vue opérationnel, les mandrins à vide en céramique d'alumine de Semicorex sont des composants essentiels pour parvenir à l'automatisation de la fabrication contemporaine de semi-conducteurs. Ils peuvent faciliter le bon déroulement de l’automatisation, en permettant la saisie, le placement, l’alignement et le traitement précis des plaquettes. La structure et l'apparence bien conçues des mandrins à vide en céramique d'alumine permettent un passage rapide de l'air, ce qui permet une adsorption et une libération sous vide efficaces et empêche la déformation ou les dommages à la surface de la plaquette causés par une force d'adsorption inappropriée. De plus, Semicorex utilise des matériaux légerscéramique d'aluminepour réduire le poids total des mandrins à vide en céramique d'alumine. Cette sélection de matériaux facilite l'installation et le fonctionnement des équipements, améliorant ainsi considérablement l'efficacité opérationnelle.

Avec autant de performances remarquables, les mandrins à vide en céramique d'alumine de Semicorex sont largement utilisés dans l'industrie de fabrication de semi-conducteurs tels que l'amincissement des tranches, le découpage en dés, le meulage, le polissage, la photolithographie, la gravure et d'autres processus pour améliorer la précision et le rendement du traitement.