Plaques de base de montage en alumine

Les plaques de base de montage de l'alumine semicoréx sont des produits en céramique de haute pureté conçus comme des bases durables et stables pour les chucks de travail de montage dans des équipements de fabrication de semi-conducteurs. Ces plaques fournissent un soutien mécanique et un alignement critiques pour les opérations de traitement des plaquettes telles que la lithographie, la gravure, le dépôt et l'inspection. Il est essentiel d'aligner avec précision le travail de travail avec d'autres composants système pour s'assurer que le traitement des plaquettes peut se produire avec la fidélité requise. Les plaques sont fabriquées grâce à des techniques de traitement spécifiques à la céramique pour atteindre la planéité nécessaire, la durabilité à haute température et la fiabilité à long terme pour répondre aux exigences sévères de la fabrication moderne des semi-conducteurs dans les environnements de processus et de salle blanche.

Les plaques de base de montage semicoréxes en alumine sont fabriquées à partir de haute puretéalumineAyant un niveau de pureté ≧ 99,5% (typique). Une alumine de haute pureté a de bonnes propriétés mécaniques et thermiques ainsi que la dureté. L'alumine de haute pureté possède d'excellentes propriétés d'isolation électrique inhérentes qui permettent également à ces plaques d'être utilisées dans le vide et les applications à haute tension où l'interférence électrique peut être un problème. L'alumine sera résistante au cyclisme thermique, ce qui permet aux plaques de maintenir une meilleure précision dimensionnelle que la plupart des matériaux et est bénéfique pour maintenir l'alignement ou la stabilité structurelle due à une étendue thermique réduite. Ce facteur est important pour garantir la répétabilité du mandrin et les tolérances de processus implicites, tout en fonctionnant sur des cycles de production étendus.

Dans les systèmes de traitement des semi-conducteurs, une plaque de base de montage n'est pas simplement un dispositif de fixation mécanique. Il s'agit du milieu de contact thermique entre le mandrin et le reste de l'équipement et est critique pour la dissipation thermique, l'intégrité structurelle et l'isolement des vibrations. Les actions de traitement telles que (mais sans s'y limiter) des CVD, des PVD ou de l'implantation ionique, où des températures élevées et des pressions sous vide sont monnaie courante, nécessitent qu'une base de montage soit résistante thermiquement, chimiquement inerte et résistante, mécaniquement saine et résistante au choc thermique. L'inertie chimique est vitale car un support doit être compatible avec les gaz réactifs, ainsi que le nettoyage des chimies, prolongeant la durée de vie utile de la monture et empêchant la contamination.

Chaque plaque de base de montage en alumine fabriquée par semi-oréex est usinée aux tolérances exigées par les OEM semi-conductrices et les intégrateurs d'équipement. Les plaques sont usinées à des tolérances étroites pour l'épaisseur, la variation de la hauteur et la planéité pour assurer une stabilité et une répétabilité maximales. Ces plaques de montage peuvent être fabriquées avec des trous de montage, des créneaux ou des contre-lieux aux spécifications des clients pour mieux accueillir des enfants de travail, des étapes mécaniques ou d'autres équipements. La céramique en alumine est traitée à l'aide de techniques modernes de frittage et de broyage de précision pour optimiser une microstructure et une qualité de surface uniformes pour assurer un contact thermique et un alignement cohérents pour une utilisation au fil du temps.

Les plaques de base de montage de l'alumine semicoréx sont utilisées dans une variété d'applications, notamment des gestionnaires de plaquettes, des systèmes de transfert robotique, des assemblages de mandrin à vide et des étapes de métrologie. Cette fiabilité et cette durabilité dans une variété de situations de processus exigeantes en font le produit de choix avec des fabricants d'outils à la recherche de composants céramiques robustes et durables et à faible entretien. Notre groupe d'ingénierie s'associe à des clients pour fournir des solutions uniques spécifiées pour chaque plaque afin de maximiser l'efficacité de la production dans un semi-conducteur.

Les plaques de base de montage en alumine sont plus qu'un simple support mécanique; Il s'agit d'un élément clé de l'ingénierie de précision dans l'industrie des semi-conducteurs. Avec une excellente stabilité mécanique, pureté et configurabilité, elles garantissent un alignement précis, une longue durée de vie et un fonctionnement fiable dans une vaste gamme d'outils de processus. Pour les plaques de base de montage haute performance, répondant aux attentes élevées des fabricants de semi-conducteurs d'aujourd'hui, Trust Semicorex.