Alumine Robot Bras

Le bras de robot en alumine Semicorex est une pièce en céramique haute performance conçue pour les tâches de manipulation et de transfert des plaquettes dans la production de semi-conducteurs. Fabriqué en céramique d'alumine de haute pureté (al₂o₃), ce bras robotique offre une flexibilité, une précision, une fiabilité et une durabilité dans les salles blanches.

Ce qui se démarque en faveur du bras robot en alumine, ce sont les propriétés decéramique en aluminerésistance mécanique et dureté. Commealumineest rendu plus pur, l'alumine maintient une meilleure intégrité structurelle et la rend plus résistante à l'usure mécanique et à la déformation. En tant que matériau, l'alumine est un excellent choix pour les parties robotiques qui sont utilisées dans des tâches délicates et répétitives de manutention de la griffage, c'est-à-dire lorsqu'un bras robot doit remplir la même fonction et entrer en contact avec des plaquettes, cette distorsion mineure appliquée à la tranche par le bras de robot peut coûter une perte de pertes de rendement. La dureté élevée, c'est-à-dire les surfaces rigides, peut aider à la résistance abrasive et à la durée de vie fonctionnelle, c'est-à-dire en étendant la durée de vie et de la durée du service / remplacement sur un composant robotique.

Au-delà de sa durabilité mécanique, le bras robot d'alumine est également un excellent isolant électrique. La résistivité est allant jusqu'à 10¹⁵ ω · cm et la résistance à l'isolation est jusqu'à 15 kV / mm à température ambiante, offrant un environnement beaucoup plus sûr pour fonctionner, en particulier lorsque les signaux électriques interférant doivent être diminués dans l'équipement de traitement. Cela devient important lors de la protection des composants de semi-conducteurs sensibles qui transfèrent entre les processus présentant un risque minimal de dommages à la décharge électrostatique (ESD).

La céramique en alumine est excellente pour maintenir la stabilité à travers des températures très élevées. Le point de fusion est d'environ 2050 ° C et résistera à des températures élevées dans le traitement thermique semi-conducteur sans précision ou précision dimensionnelle. La forte résistance à la chaleur permet au bras d'être utilisé dans des processus tels que le recuit thermique rapide (RTA) ou le dépôt chimique de vapeur (CVD), où l'alignement de précision et la stabilité thermique sont critiques.

L'un des autres avantages significatifs du bras de robot en alumine est son inertie. Sa surface est inerte pour la plupart des agents de nettoyage et des gaz de processus utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs. Par conséquent, il restera sans contamination et ne contribuera pas à la contamination de la surface de la tranche. Cette inertie chimique est essentielle pour atteindre des conditions de production ultra-nettoyées et fournir des performances cohérentes sur l'appareil.

Céramique en alumineest également une option abordable pour l'outillage semi-conducteur. Il est facilement disponible en matière première et les processus d'usinage de la céramique en alumine sont bien compris et facilement évolutifs. Cela permet de produire des tolérances reproductibles et cohérentes pour les pièces de haute qualité à un prix compétitif. Le mélange de performances et d'abordabilité rend le bras de robot en alumine idéal pour les FAB OEM et semi-conducteurs où vous avez besoin de composants d'automatisation fiables qui ne rompent pas la banque.

En résumé, le bras de robot en alumine offre des performances mécaniques élevées, des performances diélectriques élevées, une résistance thermique élevée, des performances chimiques élevées, toutes avec une fabrication éprouvée à un prix économique. Collectivement, ces caractéristiques de performance le rendent fiable et efficace pour les applications de manipulation de précision de précision dans la fabrication de semi-conducteurs, permettant une amélioration du rendement, une réduction potentielle du risque de contamination et une amélioration de l'efficacité globale de l'équipement.