Bras robotiques en alumine

Les bras robotiques en alumine Semicorex sont généralement installés dans les robots de manipulation de plaquettes, servant de transfert de plaquetteseffecteur finalqui fonctionne comme le transfert sûr et précis des tranches de semi-conducteurs vers les positions requises. Grâce à leurs trous d'air internes et à leurs canaux de gaz, les bras robotiques en alumine peuvent générer une pression négative constante pour adsorber fermement les plaquettes semi-conductrices. Cette méthode d'adsorption permet d'obtenir un contact doux avec la surface de la tranche, ce qui empêche efficacement les rayures de surface indésirables et les dommages mécaniques, garantissant ainsi une protection complète des tranches semi-conductrices.

Avantages des bras robotiques en alumine

Semicorex met en œuvre un contrôle de qualité strict pour ses produits à partir de la sélection des matières premières.

Ses bras robotiques en alumine sont fabriqués avec précision à partir de haute puretéaluminepoudre de granulation, présentant d'excellentes propriétés comme suit.

1. Ultra-haute propreté

Les bras robotiques en alumine Semicorex présentent une pureté de matériau élevée et une microstructure dense, ce qui leur permet d'éviter la libération d'ions métalliques et la perte de microparticules pendant l'opération, répondant ainsi pleinement aux exigences strictes de propreté de la fabrication de semi-conducteurs.

2. Hautes performances d’isolation électrique

Grâce à leurs performances d'isolation électrique élevées, les bras robotisés en alumine Semicorex sont capables de minimiser la génération de charges pendant leur fonctionnement. Cette performance fiable peut efficacement éviter les charges indésirables transférées par les bras robotiques en alumine aux composants semi-conducteurs et réduire le risque de dommages aux composants semi-conducteurs sensibles.

3. Rapport qualité-prix favorable

Différent deBras robotiques SiC, les bras robotiques en alumine offrent un prix économique tout en conservant des performances stables. Les bras robotiques en alumine Semicorex offrent une excellente résistance mécanique, résistance à l'usure, résistance à la chaleur et résistance à la corrosion, ce qui les rend performants de manière stable sous des charges lourdes, un fonctionnement à haute fréquence, des températures élevées et des conditions de travail hautement corrosives pendant une longue période. Cette durabilité supérieure prolonge efficacement la durée de vie des bras robotiques en alumine, réduisant ainsi l’efficacité et le coût du remplacement des composants.

Applications des bras robotiques en alumine Semicorex

Les bras robotiques en alumine Semicorex sont largement utilisés à l'avant des procédures de fabrication de semi-conducteurs, notamment la gravure, le dépôt de couches minces, l'implantation ionique et les processus CMP. Ils peuvent supporter, transférer et positionner de manière stable, sûre et précise des tranches et des composants semi-conducteurs dans diverses chambres et équipements de traitement dans des conditions de fonctionnement sous vide et de haute propreté.