Plaques de polissage de plaquettes d'alumine

Plaquette d'alumine Semicorex plaques de polissagesont des pièces usinées avec précision à partir d'alumine de haute pureté par pressage isostatique, frittage à haute température et usinage de précision. Ils sont idéaux pour les applications de polissage de précision avec des exigences strictes en matière de précision et d'efficacité de surface ultra-élevées, en particulier pour le polissage de tranches de semi-conducteurs, car la céramique d'alumine offre des propriétés physiques et chimiques exceptionnelles.

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Longue durée de vie pour une excellente résistance à l'usure

Une résistance élevée à l’usure est essentielle pour les plaques de polissage de plaquettes utilisées dans l’usinage de haute précision. La dureté Mohs de la céramique d'alumine est d'environ 9, juste derrière le diamant et le carbure de silicium, ce qui permet aux plaques de polissage de tranches de résister aux conditions de fonctionnement à friction à grande vitesse et à haute résistance pendant le polissage des tranches de semi-conducteurs avec une faible perte d'usure. Grâce à cette excellente résistance à l'usure, les plaques de polissage de plaquettes d'alumine présentent une durée de vie durable, réduisant considérablement la fréquence des arrêts des équipements pour remplacement et réduisant les dépenses de maintenance et de remplacement.

Stabilité thermique exceptionnelle et résistance aux températures élevées

AlumineLes plaques de polissage de plaquettes peuvent conserver leurs propriétés physiques et leurs performances de friction dans des environnements à haute température de 1 000 ℃ en raison de leur stabilité thermique exceptionnelle et de leur résistance à haute température. Ils sont adaptés aux conditions de travail à haute température provoquées par des frottements fréquents, évitant efficacement la déformation thermique et contribuant à maintenir une surface de polissage constante.

Résistance fiable à la corrosion chimique

Les plaques de polissage de plaquettes d'alumine présentent une résistance fiable à la corrosion chimique. Ils peuvent résister à la plupart des acides et des alcalis, ainsi qu'aux solutions de polissage chimiques courantes utilisées dans le processus CMP. Leur planéité de surface ne sera pas compromise par la corrosion chimique, affectant ainsi la qualité de surface des plaquettes semi-conductrices.

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Applications pour les plaques de polissage de plaquettes d'alumine Semicorex

1. Polissage des plaquettes semi-conductrices

Les plaques de polissage de plaquettes d'alumine sont largement utilisées dans le meulage, le polissage grossier et le polissage de finition du silicium, du SiC, du saphir et de divers substrats de plaquettes. Grâce à leur très faible rugosité et à leur planéité de surface à l'échelle nanométrique, les plaques de polissage de tranches d'alumine peuvent idéalement répondre aux exigences rigoureuses de qualité de surface des processus avancés de semi-conducteurs tels que la gravure et la lithographie.

2. Amincissement des plaquettes et polissage des bords

Pendant le processus d’amincissement des plaquettes, des plaques de polissage de plaquettes d’alumine peuvent être utilisées pour contrôler avec précision l’épaisseur des plaquettes et éliminer uniformément les matériaux de l’arrière. Dans le processus de polissage des bords, les plaques de polissage en alumine peuvent également aider à obtenir une qualité optimale des bords des tranches en éliminant les bavures et les défauts sur les bords des tranches.