Les mandrins en alumine à rainures annulaires Semicorex, spécialement conçus pour les systèmes de fixation et d'adsorption de plaquettes de haute précision, sont les composants de serrage sous vide haute performance utilisés pour la fabrication de plaquettes de semi-conducteurs haut de gamme. Choisir Semicorex, choisir les solutions optimales de serrage des plaquettes.
Les mandrins en alumine à rainures annulaires Semicorex adoptent une structure de surface constituée d'une série de multiples rainures annulaires concentriques. Lorsqu'elles sont connectées à la pompe à vide, ces rainures forment des zones de pression négative en forme d'anneau pour maintenir de manière stable les fines tranches et les pièces avec un positionnement précis. Les mandrins en alumine à rainures annulaires Semicorex fonctionnent bien dans des conditions de travail exigeant une gestion stricte de la planéité et une force d'adsorption uniformément répartie, qui sont largement appliquées dans les processus de maintien des tranches, de positionnement d'exposition, de gravure au plasma, ainsi que d'inspection et de transfert des tranches.
Les céramiques d'alumine fabriquées par frittage de densification présentent des performances thermiques remarquables. En raison de cette propriété matérielle, les mandrins en alumine à rainures annulaires Semicorex fonctionnent de manière stable dans des environnements de travail à températures extrêmement élevées, sans déformation structurelle ni dégradation des performances lors d'une utilisation à long terme.
Semicorex à rainure annulairemandrins en aluminecomportent plusieurs rainures annulaires sur leur surface d'adsorption, dans lesquelles sont formées des zones de vide stables en forme d'anneau. Cette configuration permet une force d'adsorption constante sur les principales zones de contact de la tranche, ce qui réduit ainsi considérablement la déformation et le gauchissement partiel de la tranche.
Bénéficiant d'une rigidité matérielle et d'une stabilité structurelle supérieures, les mandrins en alumine à rainures annulaires Semicorex sont capables de maintenir une excellente planéité et une précision de positionnement constante lors d'opérations répétées de serrage sous vide pendant une longue période.
À cause dealumineGrâce à leur stabilité chimique fiable, les mandrins en alumine à rainures annulaires Semicorex présentent une résistance exceptionnelle à la plupart des substances acides et alcalines, ainsi qu'à divers gaz de processus corrosifs et sont hautement adaptés aux conditions de fonctionnement corrosives difficiles.
Grâce à un contrôle rigoureux de la pureté des matériaux et à un traitement de densification, les mandrins en alumine à rainures annulaires Semicorex perdent rarement des particules ou libèrent des impuretés en service, ce qui satisfait pleinement aux normes rigoureuses de faible contamination des salles blanches de semi-conducteurs.
En tant que société leader du secteur en Chine, Semicorex s'appuie sur des lignes de production intégrées et une équipe technique expérimentée. Nous pouvons offrir un support technique sur mesure et des solutions de processus optimisées à nos clients et leur fournir une fabrication personnalisée non standard de nos mandrins en alumine à gorge annulaire en termes de pureté des matériaux, de forme des mandrins, de dimensions, de planéité, de tolérances et d'autres exigences.