Crucibles de quartz fusionnés

Les creusets à quartz fusionnés semi-orecorex sont des consommables précieux utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, avec une pureté importante, une stabilité thermique et une résistance mécanique dans des environnements de température extrêmes. Ces creusets sont fabriqués à partir de sable de silice de haute pureté qui est fusionné en utilisant une technique de fusion hautement contrôlée pour atteindre la densité la plus élevée disponible, avec un matériau principalement homogène avec des inclusions ou des bulles limitées dans sa structure qui est très reproductible pour les productions de reculations et de plaquettes en cristal. Ces creusets ont des niveaux de contamination ultra-bas, ce qui les rend idéaux pour les processus où la pureté des matériaux affecte directement le rendement et les performances de l'appareil.

Des creusets en quartz fusionnés sont utilisés dans la production de semi-conducteurs pour la méthode de Czochralski (CZ) de croissance en silicium monocristallisé. Les creusets en quartz fusionnés ont une résistance thermique élevée, ce qui leur permet de résister aux températures pour faire fondre le polysilicon qui sont souvent supérieurs à 1400 ° C.  De plus, les creusets en quartz fusionnés sont chimiquement inertes et ne réagiront pas avec le polysilicon d'une manière qui affecterait la pureté du silicium.  Les creusets de quartz fusionnés peuvent subir un cycle thermique très important sans perte d'intégrité structurelle et cela peut fournir une condition à l'état d'équilibre pour la croissance de la graine dans une structure cristalline, réalisant ainsi l'uniformité nécessaire dans les plaquettes de semi-conducteur.

Lequartz fusionnéLes propriétés optiques et les caractéristiques mécaniques donnent des avantages uniques dans un réglage semi-conducteur. Le faible coefficient de dilatation thermique atténuera les chocs thermiques et l'incohérence dimensionnelle tandis que la faible conductance thermique aidera à préserver les gradients de température dans le four à croissance cristalline par rapport au cristal. La surface intérieure du creuset étant lisse passé thermique minimisera la génération de particules et favorisera un comportement de fusion uniforme qui protégera davantage la pureté du cristal cultivé.

Les processus de fabrication utilisés pour garantir que chaque crucible en quartz fusionné est conforme à des tolérances dimensionnelles strictes et aux qualités de surface. La sélection des matières premières est dépistée pour éliminer les contaminants métalliques, la fusion se déroule dans un environnement spécialisé qui annule la contamination des gaz atmosphériques et / ou des particules. Sur la base de l'application de semi-conducteurs, des creusets peuvent être fabriqués en plusieurs diamètres et épaisseurs de paroi, des petites creusets de recherche, à des creusets de grand diamètre capables de produire des plaquettes de 300 mm.

Alors que les propriétés uniques d'un creuset en quartz fusionné améliorent déjà la durabilité et les performances, des traitements ou revêtements spécialisés supplémentaires peuvent être utilisés en cas de besoin. Par exemple, certains processus impliqueront des dépôts de couche de silicium intérieure pour améliorer la durée de vie du creuset ou pour minimiser davantage la quantité d'oxygène atteignant le silicium fondu. Ces améliorations aident l'efficacité de la production de semi-conducteurs si le processus utilise un creuset en quartz, car il réduit la fréquence de remplacement et entraîne des rendements plus élevés de cristaux.

Les creusets en quartz fusionnés jouent également un rôle dans la recherche et le développement de nouveaux processus dans l'industrie des semi-conducteurs. Son adaptabilité donne aux ingénieurs la capacité d'explorer des techniques de culture de cristaux alternatives, des technologies de dopage des matériaux ou de nouveaux matériaux de semi-conducteurs en dehors du silicium, comme l'arséniure de gallium ou le carbure de silicium. La capacité du crucible à quartz fusionné à résister à des conditions chimiques et thermiques extrêmes donne aux ingénieurs l'assurance ultime dans la production de masse et la fabrication expérimentale.

Semicorex fusionnéquartzLes crémenteurs sont devenus des outils critiques dans la fabrication actuelle des semi-conducteurs, avec une pureté de haute pureté, des propriétés thermiques supérieures et une stabilité structurelle incroyable en ce qui concerne les normes les plus strictes de l'industrie. Ainsi, leur capacité à générer des défauts sans défaut et les plaquettes semi-conducteurs à haute performance influencent directement la fiabilité et les performances des dispositifs électroniques à travers le monde.