Piédestal de quartz fondu

Dans la fabrication de semi-conducteurs, le socle à quartz fondu sert de structure de support pour le bateau en quartz qui contient les tranches. En maintenant une température constante, il permet d’obtenir un dépôt uniforme de couches minces, un facteur critique pour les performances et la fiabilité des dispositifs semi-conducteurs. Le socle garantit une répartition uniforme de la chaleur et de la lumière dans la chambre de traitement, améliorant ainsi la qualité globale du processus de dépôt.

Avantages du matériau de quartz fondu

1. Résistance aux hautes températures

Le socle en quartz fondu possède un point de ramollissement d'environ 1 730 °C, lui permettant de résister à une utilisation prolongée à des températures allant de 1 100 °C à 1 250 °C. De plus, il peut supporter une exposition à court terme à des températures pouvant atteindre 1 450 °C.

2. Résistance à la corrosion

Le socle en quartz fondu est chimiquement inerte vis-à-vis de la plupart des acides, à l’exception de l’acide fluorhydrique. Sa résistance aux acides surpasse celle de la céramique de 30 fois et celle de l’acier inoxydable de 150 fois. À des températures élevées, aucun autre matériau ne peut égaler la stabilité chimique du quartz fondu, ce qui en fait un choix idéal pour les environnements chimiques difficiles.

3. Stabilité thermique

L’une des caractéristiques remarquables du socle en quartz fondu est son coefficient de dilatation thermique minimal. Cette propriété lui permet de résister à de fortes variations de température sans se fissurer. Par exemple, il peut être rapidement chauffé jusqu’à 1 100 °C puis immergé dans l’eau à température ambiante sans subir de dommages, une caractéristique essentielle pour les processus de fabrication à fortes contraintes.

Processus de fabrication

Le processus de fabrication du socle en quartz fondu est méticuleusement contrôlé pour garantir les normes de qualité les plus élevées. Les socles sont produits par des procédés de thermoformage et de soudage effectués dans des environnements de salle blanche de classe 10 000 ou supérieure. Nettoyage ultérieur à l'eau ultra pure (18 MΩ)garantit en outre la pureté et les performances du produit. Chaque socle en quartz fondu est soumis à une inspection, un nettoyage et un emballage rigoureux dans une salle blanche de classe 1 000 ou supérieure pour répondre aux exigences strictes de la fabrication de semi-conducteurs.

Matériau de quartz opaque de haute pureté

Pour bloquer efficacement la chaleur et la lumière, le socle en quartz fondu utilise un matériau de quartz opaque de haute pureté. Les propriétés uniques de ce matériau améliorent la capacité du socle à maintenir une température stable et uniforme dans la chambre de traitement, garantissant ainsi la qualité constante du dépôt de couches minces sur les tranches.

Large gamme d'applications

Les propriétés exceptionnelles du socle à quartz fondu le rendent adapté à une variété d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Dans les processus ALD, il prend en charge le contrôle précis de la croissance des couches minces au niveau atomique, essentiel pour la production de dispositifs semi-conducteurs avancés. Pendant les processus LPCVD, la stabilité thermique du socle et ses capacités de blocage de la lumière contribuent à un dépôt uniforme du film, améliorant ainsi les performances et le rendement du dispositif.

Dans les processus de diffusion, la résistance aux hautes températures et l’inertie chimique du Fused Quartz Pedestal garantissent un dopage fiable et cohérent des matériaux semi-conducteurs. Ces processus sont essentiels pour définir les propriétés électriques des dispositifs semi-conducteurs, et l'utilisation de matériaux de haute qualité comme le quartz fondu est essentielle pour obtenir des résultats optimaux.