Enrobage de carbone vitreux en feutre

Le revêtement de carbone vitreux semicoréx se fait agir comme une couche d'isolation intérieure dans les réacteurs épitaxiaux en carbure de silicium. Il s'agit d'un matériau d'isolation haute performance conçu pour les environnements thermiques avancés. Ce produit surmonte des défis de fabrication à haute température semi-conducteurs typiques en offrant des solutions supérieures en raison de ses propriétés d'isolation thermique légères et excellentes degraphite en feutre, couplé à l'intégrité de la surface et à l'inertie chimique transmise par un revêtement en carbone vitreux.

Le matériau de base est une pureté élevéegraphite en feutreChoisissez pour sa faible stabilité à haute conductivité thermique à haute température et son poids léger. Le graphite normal ressentie généralement le délestage des fibres de surface et la génération de particules à des températures élevées qui peuvent contaminer l'environnement de processus dans les systèmes épitaxiaux sensibles. Pour atténuer ce problème, la surface du feutre du graphite est uniformément recouverte d'une couche de carbone vitreux - une forme de carbone dense et non poreuse connue pour son inertie chimique, sa faible perméabilité au gaz et sa stabilité thermique exceptionnelle.

Le carbone vitreux est un carbone non graphié qui combine les propriétés du verre et de la céramique. Contrairement à la graphite cristallin, il s'agit d'un matériau carbone hybridé amorphe, près de 100% SP2, qui est formé par frittage à haute température de précurseurs organiques polymérisés, tels que la résine phénolique, la résine d'alcool furfuryle, etc., dans une atmosphère de gaz inerte. Parce qu'il est noir partout et a une surface lisse similaire au verre, il s'appelle du carbone vitreux.

Le revêtement en carbone vitreux peut éliminer la génération de particules de fournaise, fournir des pores de surface scellés, avoir d'excellentes propriétés démollants et réduire la perméabilité, ce qui rend ce matériau très adapté aux moules et produits de coulée continue dans l'industrie des semi-conducteurs. Ce matériau a une large gamme d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs, en particulier dans les pièces en graphite telles que les composants de l'équipement de tirage en silicium monocristalle, les composants de croissance épitaxiale, les moules de coulée continue, les gabarits de scellage en verre, etc.

Le carbone vitreux a une résistance à haute température jusqu'à 3000 ° C dans le gaz ou le vide inerte, et contrairement à tous les autres matériaux de céramique et métallique à haute température, la résistance du carbone vitreux augmente avec l'augmentation de la température jusqu'à 2700K, et il ne devient pas fragile et a une résistance à l'amortisseur thermique extrêmement élevée, donc les temps de chauffage et de refroidissement extrêmement élevés ne sont pas un problème. De plus, le carbone vitreux a une faible masse, une faible absorption de chaleur et une faible dilatation thermique, il convient donc à presque toutes les applications à haute température.

Le revêtement en carbone vitreux joue un rôle crucial dans le scellement des pores de surface du feutre du graphite, réduisant considérablement la libération de particules et de poussière de carbone pendant le fonctionnement. Ceci est particulièrement essentiel dans les processus de croissance épitaxiale du SIC, où même une contamination minimale peut compromettre la qualité de la tranche et les performances de l'appareil. En encapsulant la structure poreuse du feutre avec une coquille de carbone vitreuse lisse et dure, le revêtement assure un environnement thermique propre et stable dans la chambre de réaction.

Les avantages clés du revêtement en carbone vitreux ressentiment comprennent:

Décapation de particules réduite: Le revêtement dense verrouille efficacement les fibres et les particules en vrac, empêchant la contamination des plaquettes et des composants du réacteur.

Stabilité thermique élevée: le feutre graphite et le carbone vitreux peuvent résister à des températures dépassant 2000 ° C dans des atmosphères inertes ou sous vide, ce qui rend le produit idéal pour les processus SIC à haute température.

Inerness chimique: La surface du carbone vitreuse est résistante à la plupart des acides et des gaz corrosifs, prolongeant la durée de vie opérationnelle de la couche d'isolation dans des conditions difficiles.

Amélioration de la cohérence des processus: la génération de particules minimisée contribue à un environnement de croissance épitaxial plus stable et plus reproductible, qui est essentiel pour produire des plaquettes SIC de haute qualité.

Les applications de revêtement en carbone vitreux se sont étendus principalement aux fours de croissance épitaxiale SIC, où il est utilisé comme couche d'isolation thermique dans la zone chaude. Le produit est généralement installé comme un matériau de doublure dans les piles d'isolation supérieure ou inférieure, où elle offre à la fois une protection thermique et une assurance de propreté.