Graphite chuck

Semicorex Graphite Chuck est conçu à partir degraphite spécialisé, reconnu pour sa résistance thermique et chimique exceptionnelle. Un exemple unique d'un tel mandrin en graphite qui a été spécialement conçu à partir de cette forme de graphite car il est connu pour sa très haute résistance aux produits chimiques et à la chaleur. Cela rend les Chucks très durables et ils fonctionneront dans les conditions les plus difficiles utilisées dans le dépôt de vapeur chimique (CVD) ou la gravure du plasma ou même dans un four à haute température. En tant que telle, une pureté élevée avec des impuretés très faibles signifierait déjà qu'elles ne provoqueraient pas de contamination pendant la production de polysilicon. Ils sont capables de porter des températures bien au-dessus de 2000 ° C sans aucune déformation notable car ils sont très stables grâce à une température accrue. De plus, ils ont également une résistance supérieure à la plupart des produits chimiques et survivront donc dans des conditions très difficiles, comme dans l'acide chlorhydrique (HCL) ou le tétrachlorure de silicium (SICL4). Une résistance mécanique élevée signifie pourtant que le mandrin est capable de conserver sa forme même lorsqu'il est soumis à une charge continue.

Le graphite Chuck est essentiel dans le traitement des plaquettes et la croissance des cristaux; Ils jouent un rôle principal dans toute la fabrication à tout stade, comme le dépôt de vapeur chimique (CVD), où ils assurent un dépôt uniforme en silicium. Pendant le tranchage et le polissage, ils fournissent un support stable pour la coupe de la plaquette et la finition de surface. Dans le traitement thermique, ils agissent comme une base résistante à la chaleur pour les processus de recuit et de dopage de la plaquette de silicium, améliorant considérablement l'efficacité et la qualité de la ligne de production.

Comment assurer l'uniformité de la performance de notregraphite?

Tout d'abord, la carbonisation. Notre fournaise n'a que 115 mètres cubes. Notre équipe technique testera le champ de température des produits en graphite dans différentes zones de chaque fournaise. Dans l'état à basse température (0-200 °) lorsque la température commence à augmenter, nous la contrôlerons à environ ± 10 °, et dans l'état de température élevée (supérieur à 600 °), nous le contrôlerons à ± 1 °. Nous allons non seulement tester le champ de température entre différents graphites, mais également tester la température de surface et interne de chaque morceau de matériau de graphite et le contrôler à ± 3 °. Nous testons 8 points de température dans chaque fournaise de la fournaise de carbonisation.

Le second est le graphitisation. Prenant 500 kg à titre d'exemple, nous testerons également 8 points de température. Les échantillons sont inspectés au hasard à n'importe quelle position du produit graphitisé pour les tests destructeurs. Après la destruction, 24 points sont testés. Des tests sont effectués séparément de l'axe XYZ pour assurer son uniformité. La plupart des entreprises de l'industrie ne testeront que l'axe X ou tout au plus l'axe XY.

Les fabricants généraux ne testent que 6 à 8 points, et les meilleurs testent 12 points, tandis que nous testons 24 points.

Semicorex Graphite Chuck est une solution indispensable pour les fabricants de polysilicon à la recherche d'outillage haute performance, fiable et rentable. Avec les propriétés avancées des matériaux et l'ingénierie de précision, notre produit améliore l'efficacité et la qualité de la production de plaquettes de silicium dans l'industrie solaire. Pour plus d'informations ou des spécifications personnalisées, veuillez nous contacter dès aujourd'hui.