Électrode de graphite

L'électrode en graphite Semicorex est un composant en graphite de haute pureté, fabriqué avec précision, destiné à être utilisé dans les applications thermiques de semi-conducteurs, où la conductivité électrique, la stabilité thermique et la précision dimensionnelle sont primordiales. En fait, ce type d'électrodes est utilisé dans les fours à haute température, les réacteurs d'épitaxie et les chambres de traitement thermique, facilitant une conduction de courant stable, un transfert de chaleur et une stabilité dans des conditions agressives de température et d'atmosphère. En raison de l'extrême pureté, de l'uniformité de la structure solide et des propriétés mécaniques élevées des électrodes en graphite Semicorex, elles peuvent fournir des performances thermiques fiables en tant qu'éléments chauffants dans les applications exigeantes des semi-conducteurs.

L'électrode en graphite est fabriquée à partir d'un matériau graphite à grains fins de haute qualité, chacune étant fabriquée à l'aide d'une séquence avancée d'extrusion, de carbonisation à haute température et de graphitisation. La microstructure en graphite est conçue pour une résistivité électrique approximativement constante, une conductivité thermique élevée et une stabilité mécanique. Le produit final est un conducteur thermique de haute pureté qui maintient une condition physique et une distribution uniforme du courant dans des environnements à haute puissance ainsi que des fluctuations rapides de température.

Ultra Performance dans notregraphite

Notre graphite garantit une uniformité de performance supérieure. Premièrement, lors du processus de carbonisation, nos fours ne disposent que de 115 mètres cubes. Notre équipe technique surveille le champ de température des produits en graphite dans différentes zones de chaque four. Au stade initial à basse température (0-200°C), nous contrôlons la température à ±10°C, et à haute température (au-dessus de 600°C), à ±1°C. Nous surveillons non seulement le champ de température entre les différentes particules de graphite, mais également la température de surface et interne de chaque pièce de graphite, en la contrôlant à ±3°C. Nous surveillons 8 points de température dans chaque four de carbonisation.

Deuxièmement, lors du processus de graphitisation, en prenant comme exemple un lot de 500 kg, nous surveillons également 8 points de température. Après la graphitisation, nous échantillonnons au hasard et testons de manière destructive 24 points le long des axes X, Y et Z pour garantir l'uniformité. La plupart des entreprises du secteur testent uniquement l'axe X, ou tout au plus l'axe XY, les fabricants typiques testant seulement 6 à 8 points, et les meilleurs testant 12 points. Nous testons 24 points.

L'électrode en graphite est fabriquée à partir d'un matériau graphite à grains fins de haute qualité, chacune étant fabriquée à l'aide d'une séquence avancée d'extrusion, de carbonisation à haute température et de graphitisation. La microstructure en graphite est conçue pour une résistivité électrique approximativement constante, une conductivité thermique élevée et une stabilité mécanique. Le produit final est un conducteur thermique de haute pureté qui maintient une condition physique et une distribution uniforme du courant dans des environnements à haute puissance ainsi que des fluctuations rapides de température.

Les électrodes en graphite Semicorex ont une conductivité électrique exceptionnelle, ce qui facilite une fourniture d'énergie efficace avec des pertes minimales, et elles possèdent une excellente conductivité thermique, permettant un transfert de chaleur uniforme et rapide dans le four. La combinaison d'une faible dilatation thermique et d'une résistance mécanique élevée réduit la déformation et la fissuration pendant les cycles thermiques, offrant ainsi un comportement stable sur de longues durées de vie. Chaque électrode est usinée selon des tolérances dimensionnelles strictes et une finition de surface fine pour garantir un contact constant et une résistance électrique négligeable au niveau de la surface de contact.

En gardant à l’esprit les exigences spécifiques des processus de semi-conducteurs, Semicorex peut concevoir des conceptions d’électrodes personnalisées pour s’adapter à n’importe quelle configuration de four et spécification de puissance. Différents diamètres, longueurs, types de connexions ou finitions de surface peuvent être proposés. Si nécessaire, des matériaux de revêtement, tels que le SiC ou le carbone pyrolytique, peuvent être appliqués pour renforcer la résistance à l'oxydation et la durée de vie dans des environnements riches en oxygène ou en gaz réactifs.

La grande pureté dumatériau graphitesert à garantir des niveaux incroyablement faibles d'impuretés métalliques (et d'impuretés gazeuses), souvent supérieures à 99,999 % de carbone. De si faibles niveaux d'impuretés permettent d'éviter de contaminer les tranches semi-conductrices lors du traitement thermique. Combinées à la profondeur d'usinage importante et à la finition de surface polie, les électrodes en graphite Semicorex répondent à la fois à la stabilité mécanique et chimique des technologies de fabrication de plaquettes de pointe.

Qu'elle soit utilisée dans des fours à diffusion, des réacteurs épitaxiaux ou des équipements de traitement à haute température, l'électrode en graphite Semicorex offre des performances inégalées dans les environnements thermiques les plus exigeants. En combinant une grande pureté, une géométrie précise et un traitement avancé des matériaux, Semicorex propose une solution d'électrode qui garantit une conduction de courant stable, un chauffage constant et une fiabilité opérationnelle à long terme essentielles à la fabrication de semi-conducteurs de nouvelle génération.